硬质涂层概况素材.pptVIP

DLC切割刀片 硬碳层 金刚石涂层 优点 具有很高的硬度,耐磨性能,摩擦系数低 缺点 采用CVD沉积技术,沉积温度高,基底材料范围窄 涂层应力大,膜基结合能力差 适用于加工有色金属,木材等不含铁成分的材料 成本高,H2消耗量大 新型涂层的研究趋势 涂层不仅向成分多元化发展，也向组织结构纳米复合化发展 1.新型涂层的研究背景 新一代纳米结构涂层已经吸引全世界的关注 通过涂层的结构纳米化和不同物相复合纳米化，可以获得超硬涂层（40 GPa ） 通过涂层纳米化，可改善涂层的综合性能（韧性，抗腐蚀、抗氧化、结合性能等） 超硬涂层应用于传统超硬涂层不能沉积的基体表面或应用领域,使其在工业制造过程效率更高，通用性更强，成本更低 新型涂层的研究背景 2.纳米结构涂层的优点 更好的综合性能（超硬度，高韧性, 抗腐蚀性等）提高了涂层的抗磨损性能，提高了工件的使用寿命，迎合了工业界对生产效率的追求。 更好的热力学稳定性,使用范围更广（C、B和铁有很好的亲和性,使DLC和c-BN的热动力学稳定性差，适用范围受限） ? 可以在较低的温度条件沉积出超高硬度涂层，扩展了沉积基底的种类和应用范围(传统超硬涂层需高温沉积,如金刚石等) 沉积工艺比传统的超硬涂层（金刚石， c-BN ）更简单，成本更低 DLC 很好的固体润滑性能 硬度20GPa 抗氧化性不佳 C与铁亲和力强,不能用于加工钢铁材料,使用范围限于有色金属加工 纳米复合材料 具有良好的抗氧化性 硬度40GPa 可应用于钢铁和有色金属加工 C-BN 硬度高，但综合性能不佳。韧性差,应力大,结合性能差 沉积温度高 成本最贵 3.新型涂层的研究 纳米复合涂层 纳米多层复合涂层(nano-layered film) 纳米混合复合涂层(nano-composited film) nano-composited film nano-layed film 当调制周期达到临界值,涂层产生超硬效应 纳米多层复合涂层 TiN/SiNx 纳米多层膜 无一般涂层的柱状结构,致密 热稳定性强, 高硬度 (~50 GPa),强抗腐蚀性 TiN/SiNx 纳米多层膜TEM结构 非晶态SiNx 晶态TiN TiN/CNx纳米多层膜 Ti-Si-N纳米混合复合涂层 Si 含量 4-10 at% 硬度 39-43 GPa 晶粒大小 5-10 nm 混合复合涂层不需要严格的旋转设备，比纳米多层涂层制备简单得多 非晶态SiNx阻碍TiN晶体边界的滑移，并且细化TiN晶粒使涂层产生超硬效应 结束语 采用硬质涂层制备技术，不但可大幅度提高工件的质量和性能，成倍地延长使用寿命，而且它们大多在技术上成熟，工艺上简便，经济上可行，能够取得事半功倍的效果。 谢 谢！ 人有了知识，就会具备各种分析能力， 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书，广泛阅读， 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍，我们能丰富知识， 培养逻辑思维能力； 通过阅读文学作品，我们能提高文学鉴赏水平， 培养文学情趣； 通过阅读报刊，我们能增长见识，扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操， 给我们巨大的精神力量， 鼓舞我们前进。 * 硬质涂层发展概况 江苏大学 邵红红 一、硬质涂层沉积技术 印刷用滚筒等离子陶瓷热喷涂（耐磨损） 等离子陶瓷热喷涂泵部件(耐磨损） 电极轴（铜）隔离部等离子陶瓷热喷涂（耐磨损） 拉线机械用引导滚筒等离子陶瓷热喷涂（耐磨损） 热喷涂存在的问题： 涂层厚,均匀性相对其他沉积方法差,难以应用于精密部件 喷涂材料受限制,必须在熔融条件下不发生分解、蒸发、升华、离解 沉积表面需要机械或化学粗化，基体不能太薄 电化学沉积（电镀）与化学镀 需要基体导电 受电力线变化影响，均匀性和致密度差 仿形性差 可沉积材料相对较少 成本相对低 沉积速度相对较快 不需要基体导电 镀层均匀,致密,抗腐蚀性更好 仿形性好,可对复杂部件施镀 除Pb、Cd、Sn、Bi，大多数金属可沉积 成本相对更高 沉积速度相对较慢 电镀 化学镀 电镀 化学镀 精密冲压加工品的电镀 Ni 化学镀 Ni-P 沉积的硬质材料有限(Cr,Ni,Ni-P…) 沉积的硬质材料硬度一般偏小(1500Hv) 复合沉积的复合均匀性较差,不能应用于精密部件 电镀与化学镀的局限性： 化学气相沉积（CVD）特点 最先使用的气相沉积技术 优点 沉积温度高,结合力比物理气相沉积强 缺点 沉积温度过高限制基底的适用范围 沉积温度600℃-1200℃ 基底适用范围(硬质合金\陶瓷部件) 热变形大，应用于非精密部件 反应气体会污染环境 PVD与CVD的区别导致不同领域的应用 沉积温度低,应用范围广 热变形小,可应用于精密部件(刀具、模具) 没有废气排放，