镀膜质量指标检测剖析.pptVIP

Photop Confidential 镀膜质量指标检测 Date: 7-13 Prepared: 陈本豪 Rev.: 02 … … … 镀膜过程 质量指标 光谱指标 散射 膜层牢固度 外观质量 损伤阈值 膜层吸收 其他指标 相位角… 性能指标 镀膜过程质量指标汇总 时间安排计划表 已发布规范 外观类检测规范 6月 未完成　 　新增待定　 相位角测量规范 优化流程　 　 　 　 　 　 　 　 膜层牢固度测量规范 损伤阈值延误　 　 　 　 　 　 　 　 损伤阈值过程控制规范 新定规范　 　 　 　 　 　 　 　 膜层吸收、散射测试流程 更新规范　 　 　 　 　 　 陪镀片放置规范更新 　 　 　 　 　 　 　 曲线制作规范更新 7月 　 　 　 　 　 　 　 性能指标检测规范更新 　 合并发行　 　 　 　 　 　 　 　 　 光谱指标检测规范更新 5月 进度 6-26 6-22 6-15 6-8 6-1 5-25 5-18 内容 月份 现场已执行，文件待发布 正在开展中 文件已定稿或发布 异常提报流程优化 过程异常提报流程 规范测量方法 改善前： 检测发现异常通知镀膜工程师确认，工程师更改不合格判定存在误差和风险 改善后 检测发现不合格除增加工程主管、测试工程师、镀膜QE，更改检测的不合格判定须经过共同评估 输入：膜系、波长、入射角