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光电子显示中的数字光处理器的进展 ? 摘要 数字光处理器（DLP）是近几年光电子显示技术中的一支突起的异军，是高技术创新领域里的一颗光彩夺目的新星。 随着光电子技术和大规模集成电路制作术的发展，一种被称之为数字微反射镜器件（DMD）应运而生，数字光处理器（DLP）便在此基础之上使新一代的光电子显示投影产业迅速发展起来。 现就数字光处理器（DLP）和数字微反射镜器件（DMD）的结构原理作一简要的介绍 。 DMD 要目 1,引言 2,数字光处理器的发展 3,数字微反射器件（DMD）的基本结构和工作原理 4,数字光处理器（DLP）投影机的优点 5,结语 6,参考文献 1,引言 光电子技术和产业已成为21世纪高科技竞争的焦点，随着全球信息化时代技术创新浪潮的日益高涨，我国的科技界和企业界以及政府部门对迅速发展的光电子技术和产业的深远意义和巨大潜力皆予以足够充分的重视。 光电子显示则是光电子技术和产业的重要组成部分。多种光电子显示的技术和产业在市场的牵引下缤纷异彩地呈现于世并蓬勃地发展着。 目前,光电子显示产品琳琅满目,其产业群的雏形也已星罗棋布地出现在新兴的高科技产业开发区，创新技术不断涌现。 光电子显示技术的主流 阴极射线管(CRT); 液晶显示（LCD）; 发光二极管（LED）; 等离子体显示（PDP）; 场发射平板显示（FED）; 有机发光二极管（OLED）; 全息显示与数字全息（HOLOD）; 数字微反射镜(DMD)为基础的数字光处理器（DLP）; 数字硅基反射液晶 (LCOS). 2,数字光处理器的发展 光电子显示中的数字光处理技术(DLP) Digital Light Processing 1993年美国德克萨斯仪器公司在Dr.Larry Hornbeck 1987 年发明的数字微反射器件DMD—Digital Micromirror Device的基础上通过不断地探索和试验而应用到商用投影显示中,准备推出的一种新一代的光电子显示产品。 在1993年的一次国际信息显示学会（SID---Society for Information Display）研讨会上，Dr.Larry Hornbeck小范围内展示了一台基于他发明的DMD技术的投影仪。 最初的DMD 当时是使用一块768×576像素的DMD器件，它只能显示PAL或NTSC的视频信号，而且其对比度也只有50:1 而后德克萨斯仪器公司对此又继续不断地投入发展研究经费，Dr.Larry Hornbeck和他的同事又继续深入地发展研究,使DMD的性能如：分辨率、亮度、可靠性等不断提高,其制造工艺亦日臻成熟,他们的研究成果很快就得到了诸多投影仪生产厂家的认可。 Dr.Larry Hornbeck霍恩贝克出生于1943年9月17日，1973年获固体物理学博士后就职于得克萨斯州达拉斯的德州仪器公司（TI）中央研究实验室 历经十年DLP趋于成熟 1994年用DMD装备的原型投影仪首次向世人展示了较为成熟的DLP技术应用成果; 1995年德克萨斯仪器公司宣布该公司的DLP产品与它的第一个客户签署销售协议； 1996年4月世界上第一台DLP投影仪系统正式发货给某公司。 从1987年Larry Hornbeck 博士发明DMD经不断完善，直到形成DLP成熟的投影仪产品先后花了近十年的时间。 Larry的成功 Dr.Larry Hornbeck在研究开发DMD和DLP的整个过程中先后取得33项专利； 1997年DLP投影仪被美国艺术与科学动画学会首选为奥斯卡（Oscars）影片展示的放映设备，好莱坞（Hollywood community）亦采用DLP影院技术； 从1996年至2001年底德克萨斯仪器公司已直接售出系统整机100多万部。 由于Dr.Larry Hornbeck 在研究DMD和DLP学术上的贡献于2002年被国际光学工程学会（SPIE）选为特别荣誉会员。 2008年美国物理联合会（AIP）授予他为工业应用物理奖。 3,数字微反射器件（DMD）的基本结构和工作原理 DMD晶片包含成千上万的微反射镜，每个微反射镜代表一个像素，开或关的状态就可创建一幅图像。 DMD是在半导体硅的基底上用大规模集成电路的技术，通过半导体微细加工技术巧妙设计、精密制作，在硅衬底基片上制出一个微存储器 。 单个DMD的结构 每一个微存储器上刻蚀出两个寻址电极和两个搭接电极； 在紧靠基底电极的上方用涂覆、光刻、溅射、镀膜等大规模集成电路制作工艺制作一个正方形微形反射镜； 通过扭臂樑铰链在正方形微形反射镜的对角线方向上把它固定在两个支柱上而形成一个“跷跷板”式的结构。 单个DMD的结构 DMD 单个DMD的结构-断面图 DMD的结构示意图-1 DMD的结构示意图-2 DMD