工业ESD模拟设备波形校准及校准实例.pdfVIP

鳓 孵 ELECTRONIC MEASUREMENT TECHNOL0GY 电子测量技术 第3O卷第12期 2007年12月 工业ESD模拟设备波形校准及校准实例 王昊鹏 胡 明 (天津大学电子信息工程学院 天津 300072) 摘 要：本文阐述了如何根据业界相应的标准对ESD模拟装置进行波形校准，先给出了工业进行ESD测试的背景， 然后简要介绍了一种较为常见的ESD静放电形式——HBM(人体放电模式)——产生以及其在工业中进行波形校准 的基本原理和所需设备，并对如何正确架设调整校准设备，如何进行有关静放电模拟器和测量板的校准程序进行了探 讨，最后以HBM+1 kV短路波形校准为实例进行了更进一步的说明。结果表明通过架设校准电路以及设定正确的 波形校准程序，同时以业界的明确的标准为规范，相关技术人员就可以对ESD模拟设备产生的静放电波形进行校准。 关键词：静电放电；波形校准；人体放电模式 中图分类号：TN402 文献标识码：A Industrial ESD simulator waveform verification and practical verification case Wang Haopeng Hu Ming (Academy of Electronic Information Engineering，Tianiin University．Tianjin 300072) Abstract：The paper illustrates how to carry out a ESD waveform verification on the ESD simulator．First of all，the paper presents the background of industrial ESD test．Then we introduce the generation of a common ESD mode HBM as well as the principle and equipment of the waveform verification in industrial application，illustrate the right method of installing the adjusting verification device，and discuss the verification programme of ESD simulator and measuring pane1．Finally we present a practical HBM +lkv short circuit waveform verification procedure as an example．Results show that with the verification circuit installed and the right waveform verification programme as wel1 as the specific industrial criteria，relevant technicians can correctly perform the ESD waveform verification for ESD simulation devices． Keywords：ESD；waveform verification；HBM 0 引 言 l 工业ItBM产生原理及波形校准 在CMOS集成电路中。随着芯片制造技术的不断进 1．1 工业ItBM测试的目的和背景 步，器件的尺寸已缩减到深亚微米(deep—submicron)阶段， 人体放电模式(HBM)的ESD是指因人体在地上走动 从而使得集成电路(IC)的性能