sx1944 型数字式四探针测试仪.pdf

注意：敬请用户在操作使用SX1944 型数字式四探针 测试仪之前，必须详细阅读使用说明书！ 并妥善保存。 SX1944 数字式四探针测试仪 行标准 Q/320500 GQB 1030-2006 用说明书 本企业已通过ISO9001:2000 质量体系认证 州 电 讯 仪 器 厂 苏州 市 百 神 科 技 有 限 公 司 欢迎使用SX1944 型数字式四探针测试仪！ 由衷地感谢您加入本公司的用户队伍！ 一、概述 SX1944 型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，它可 以测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率，测量扩散层的薄层电阻 （亦称方块 电阻）。换上特制的四探针测试夹具，还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。 仪器由主机、测试探头（可选配测试台）等部分组成，测试结果由数码管直接显示。 主机主要由精密恒流源，高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成，自动转换量程。 仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、智能化程度高、测量简便、结构紧凑、 使用方便等特点。 仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电 阻性能的测试。特别适用于要求快速测量中低电阻率的场合。 本仪器工作条件为： 温 度： 23℃±2℃ 相对湿度： 60%～70% 工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。 二、技术参数 1. 测量范围 -4 5 电 阻 率： 10 ～10 Ω-cm -3 6 方块电阻： 10 ～10 Ω/□ 电 阻： 10-4～105 Ω 2. 可测半导体材料尺寸 直 径： Φ15～140mm 长 （或高）度： ≤40mm 3. 测量方位 轴向、径向均可 4. 数字电压表： ⑴量程： 200mV - 1.- ⑵误差：±0.1% 数±2 字 ⑶最大分辨力：10 V ⑷精度： 4 1/2 位 显示: 4位半数字显示 小数点自动显示 5. 数控恒流源 ⑴电流输出：直流电流0～100mA连续可调，由交流电源供电。 ⑵量程：1μA，10μA，100 A，1mA，10mA，100mA ⑶误差：±0.5% 数±2 字 6. 四探针测试探头： ⑴探 针 间 距： 1mm ⑵探针机械游移率： ±1.0% ⑶探 针： 碳化钨，Φ0.5mm ⑷压 力： 0～2kg 可调,最大压力约2kg 7. 电源： 输入: AC 220V±10% 50Hz 功 耗：20W 8. 外形尺寸： 主机 260mm （长）×210 mm （宽）×125mm （高） 三、工作原理 1. 测试原理：直流四探针法测试原理简介如下： ⑴体电阻率测量： - 2.- 图1 四探针法测量原理图 当1、2、3、4 四根金属探针排成一直线时，并以一定压力压在半导体材料上时， 在1、4 两根探针间通过电流I，则在2、3 探针间产生电位差V。 V 材料电阻率 ρ= C （Ω-cm） （3-1） I 式中C 为探针修正系数，由探针的间距决定。 当试样电阻率分布均匀，试样尺寸满足半无穷大条件时 2 C=