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MFIS结构电容器的制备及其中子辐射效应研究
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摘 要
具有金属-铁电-绝缘-半导体(Metal-Ferroelectric-Insulator-Semiconductor, MFIS)
结构的铁电场效应晶体管(Ferroelectric Field Effect Transistor, FeFET) 因具有存储结
构简单、高存储密度、低功耗、高存取速
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