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电子背散射衍射技术及其在材料分析中应用
王建军，宋武林，郭连贵
(华中科技大学分析测试中心 湖北武汉430074)
摘要：本文较详细地阐明了电子背散射衍射技术EBSD的基本原理、实验分析方法，通过安
装在场发射扫描电子显微镜上的电子背散射衍射系统，可以对块状样品进行材料微区范围内
取向与结构的快速分析，使显微组织、微区成分与结晶学数据分析联系起来，电子背散射衍
射技术EBSD成为现代材料科学研究的重要实验技术。
材料显微组织分析
关键词：电子背散射衍射EBSD
Diffraction and
TheElectronBack-ScatterTechnology
Its inMaterials
Application Analysis
Abstract：Thebasic and methodofthe。ElectronBack-Scatter
principleexperimentalanalysis
onField
Diffraction was EBSD mounted
introduced．Throughanalyzingsystems
technology
Electronic can microstructureof
complete analysisc哆stallographic
Scanning Microscope，it
structuresandorientationsofblock whichcaninterconnectmicrostructureobservation，
sample，
micro—areachemical and data theEBSD become
analysiscrystallographyanalysis，andtechnology
themost inMatedalsScienceResearch．
importantanalysistechnology
words：EBSD mierostructure
Key technology：materialanalysis
0引言
材料的显微组织、微区成分、晶体结构和取向是影响材料及性能的重要因素。过去，研
究材料显微组织常用的方法有透射电了显微镜(TEM)中的电了射线衍射法、以扫描电了显
Paaem)
微镜(SEM)为基础的选区电子通道花样(SACP：Seiected-Areaelectron
Channeling
Diffraction)和中了衍射。近年来，随着材料科学的发展，人
和x射线衍射(XRD：X．Ray
们获取材料显微组织、晶粒结构信息f{勺研究手段得到飞速发展。20世纪70年代发展起来的
Back．Scatterdiffraction
电子背散射衍射花样(EBSP：Electron Pattern)已经能对块状样品中
亚微米级尺度显微组织逐点作结晶学分析。20世纪90年代英国、美国和丹麦研制生产出电
子背散射衍射装置可以直接配置在扫描电镜上，在测定单个晶粒取向的基础上，逐步发展完
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