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第1 卷 第- 期 应 用 化 学 Z?A 1 ’?A - 1%%* 年- 月 ! ! ! PO[’:X: \)]W’6J )U 6IIJ[:K PO:4[X3W9! ! ! 4;^ 1%%* !# 阳极薄膜制备与电化学性能 ! # ! ! 赵胜利 ! 文九巴! 祝要民! 秦启宗 ! （河南科技大学材料学院! 洛阳# $%% ；复旦大学激光化学研究所! 上海） 摘! 要! 采用真空蒸镀并辅以热氧化法制备了’() 电极薄膜，考察了氧化温度对薄膜结构与电化学性能的 影响。结果表明，在*%% + #%% , 氧化温度下制备的’() 薄膜由颗粒大小为-* + .$ /0 的纳晶组成。’() 薄膜 的可逆放电容量随氧化温度的升高而增大，循环性能却略有降低。在*%% , 氧化1 2 时制得的’() 薄膜具有 较高的放电容量和很好的循环性能。 关键词! ’() 薄膜，真空蒸发，热氧化 中图分类号： )* ；345$$! ! ! ! ! 文献标识码：6! ! ! ! ! 文章编号：$%%%7%-$.（1%%* ）%-7%57% 全固态薄膜锂电池具有体积小、易集成、高能量密度、循环性能和安全性能好等优点成为微电池研 ［$］ 究的一个热点 。当前集成电路制作工艺多数仍采用回流焊技术，此过程中器件被瞬间加热至约 1-% , ，以金属锂为阳极的薄膜电池由于锂的低熔点（$.% , ）将被破坏。因此，新型阳极薄膜的制备成 ［1 ］ 为全固态薄膜锂电池研究的一个主要方向 。’() 具有较高的熔点，能够承受回流焊的温度，不易与空 气中氧和水蒸气发生反应，对制备环境要求较低，具有较高的比容量和良好的循环性能，是目前研究较 ［ ］ 多的一种薄膜锂离子电池阳极材料。G;/H 等 曾采用脉冲激光沉积（IJK ）法成功制备了纳米粒子 ’() 薄膜，作为锂离子电池的阳极材料，具有良好的电化学性能，但IJK 技术大面积沉积均匀薄膜有困 难。采用磁控溅射法、化学气相沉积和电沉积等方法制备’() 薄膜，但这些制备方法存在沉积速率低、 成本高或难以大面积沉积薄膜等缺点［ + . ］。本文采用成本低且易于操作的真空蒸发并结合热氧化方法 在大面积基片上获得了光滑致密的纳米’() 薄膜，考察了氧化温度对薄膜电化学性能的影响。 $% 实验部分 将清洗干净的不锈钢和单晶硅基片固定在旋转圆盘上并置于真空镀膜机（K47-%6 型，北京仪器 厂）中，源材料为高纯镍丝，采用电阻丝加热。镀膜室的工作真空度为$L M $% N I; ，使用膜厚监控仪 （JOP71 ）控制沉积速率（%L %- + %L $ /0Q = ）和薄膜厚度（约为$%% /0 ）。将所得’( 薄膜样品置于管式炉 中，在纯) 气气氛中于一定温度时氧化1 2 获得 ’() 薄膜。在 ’( 薄膜热氧化生成 ’() 的过程中， 1 %% , 时总伴随着少量’( ) 的产生，’( ) 在*%% , 时则可完全还原为’() 。因而选择热氧化温度为 1 1 *%% 、*-% 和#%% , 来研究’() 薄膜的制备。 电池组装在6R 气气氛保护的干燥手套箱中进行。’() 薄膜的电化学测试分别采用两电极体系和 三电极体系，其中’() 薄膜为工作电极，高纯J( 片为对电极和参比电极。采用电解液为（德国4DRFS 公 司）溶于质量比为 $ T $ 的:PQ K4P 混合溶剂的J(IU* 溶液，其浓度为 $ 0?Q J 。电池充Q 放电测试在 J6’K 电池测试仪上进行，循环伏安测试使用P