谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作.PDFVIP

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2017-08-15 发布于天津
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谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作

第卷第期重庆大学学报年月文章编号谐振式微加速度计驱动和检测结构设计及制作何高法唐一科周传德何晓平吴英重庆大学机械工程学院重庆重庆科技学院机械系重庆中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳摘要基于谐振式加速度计的工作原理和结构特点设计了一种新型微加速度计谐振器用解析法和有限元法计算了谐振器的横向驱动力以及其处于谐振状态时的检测电容值综合粘性阻尼运动阻尼和气膜阻尼分析了谐振器在大气环境下的阻尼和品质因子应用工艺完成了微加速度计谐振器的制作测试结果表明谐振器性能良好谐振频率为与设计的理论值误差约为关键词微机电系统加速度计谐振器静电梳齿中图分类号文献标志码