飞秒激光加工及其应用 - 深圳大学信息中心.pdfVIP

维普资讯 飞秒激光加工及其应用 罗晓娜 ，刘金合 ，唐建宇 (西北工业大学 材料学院，陕西 西安 710072) 摘 要 ：综述 了激光短脉冲化的飞秒激光发展史，重点论述 了飞秒激光的加工机理和特点。飞秒激光 独特的光束特性决定了他是一种理想的微细加工工具 ，可以实现聚合物的制备 ，可以对各种透明材料 内部 进行三维加工和改性，另外在生物学领域也有着独特的应用。本文最后还展望了飞秒激光加工未来的发 展方向。 关键词 ：短脉冲化 ；飞秒激光 ；微细加工 中图分类号：TG456．7 文献标志码 ：A 世界上第一束人造激光由美国物理学家西奥多 1994年 ，利用脉冲放大技术获得了小于 1Ofs的激 · 梅曼在 1960年利用一个红宝石棒研制而出。激 光脉冲 ]。 光作为一种崭新 的光源 ，具有高度 的方 向性 、单色 自1993年起 ，科研人员开始研发飞秒光纤激光 性、光亮度和相干性 ，换句话说激光可以在很大的相 器。飞秒光纤激光器 同气体或常规 固体激光器相 干体积 内有很高的相干光强。激光作为 20世纪的 比，具有结构简单 、散热效果好 、转换效率高、可靠性 一 项重大发明，带来了光学及其应用技术 的革命 。 能高等优点_l6]。以被动锁模技术为主导 的超短脉冲 近几十年来的发展表明，激光科学和技术有力促进 激光器 ，目前是飞秒光纤激光器研究 的一个热 点。 了物理学、化学和生物学的发展l1]。 另外 ，采用半导体激光器为泵浦源的Yb基飞秒 固 体激光器 ，具有热应变小、工作效率高的特点，最近 1 飞秒激光发展史 已成为工业用飞秒加工装置的主流l7]。 从人类实现红宝石激光器的脉冲振荡 以来 ，激 2 飞秒激光加工的机理和特点 光短脉冲化的研究 ，作为基础物理的一个领域得到 了稳健的发展 ，同时，由于激光短脉冲具有的快、微 、 飞秒是时间单位 ，1飞秒就是 10 。S。近 20年 强等特性，使其在微细加工等领域具有独特优势 ，也 来 ，从染料激光器到克尔透镜锁模 的钛宝石飞秒激 同样促进了激光短脉冲化进程的发展。飞秒激光就 光器 ，以及后来的飞秒光纤激光器和二极管泵浦 的 是在激光短脉冲化的过程中发展壮大起来的。激光 全固态飞秒激光器，飞秒激光的脉冲宽度和能量 的 诞生时的振荡脉冲宽度是微秒级 ，峰值功率也只有 记录都在不断刷新。以脉冲形式工作的飞秒激光， 几十千瓦，仅仅一年后利用调 Q技术，脉冲宽度便 具有脉冲持续时间极短 、脉冲瞬时功率极高、聚焦 电 降低到了 10 S量级 。1965年人们利用被动锁模 磁场场强极强等特点。 技术在红宝石激光器中直接得到了皮秒级的脉冲宽 2．1 飞秒激光加工机理 度，此后 ，超短激光脉冲技术得到迅速发展 ]。 飞秒激光脉冲的光束特性决定了他是激光微细 飞秒激光首先是在染料激光器 中利用碰撞脉冲 加工中最理想的工具 ]。飞秒激光加工可以实现小 锁模的原理得到的。70年代，染料激光器采用锁模 于焦点光斑尺寸的精度加工 ，原 因在于多光子吸收 技术得到亚皮秒脉冲之后 ，伴随着宽带可调谐激光 的光强依赖性 。首先 ，飞秒激光加工时存在着准确 晶体和 自锁模技术的出现 ，超短脉冲的激光技术获 的多光子吸收阀值。从光和物质相互作用的角度而 得了突飞猛进的发展。1985年 R．L．Fork等人 已 言，飞秒激光