协议编码器接口技术研究及解码实现.PDFVIP

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2017-07-11 发布于四川
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协议编码器接口技术研究及解码实现

第卷第期液晶与显示３１　４　　 Vol．３１　No．４　　　　　　　　　　　ChineseJournalofLiuidCrstalsandDislas 年月 q y p y ２０１６４　　　 A r．２０１６ p 文章编号: ( ) １００７Ｇ２７８０２０１６０４Ｇ０３８６Ｇ０６基于的协议编码器接口 FPGA BiSSＧC 技术研究及解码实现 , , , 王希远成荣朱煜孙贤　　　 ( , ) 清华大学机械工程系北京１０００８４ : , , 摘要为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求本文提出了基于的协议解码方法 FPGA BiSSＧC . , , . 并针对该方法进行了电路设计以及实验验证首先研究了BiSSＧC协议内容就其组网方式和帧格式做了详细的介绍 , , 、 , , 然后针对绝对式编码器解码要求利用 FPGA拓展性好灵活性高等特点通过状态机设计了绝对式编码器的数据传 , , . , 输电路实现了BiSSＧC协议的译码功能并采用 CLEＧAA容栅尺进行了应用验证最后进行了与增量式光栅尺的对比 . , , , 校准实验实验表明容栅尺绝对式编码器可实现１０kHz的传输速率运动误差在±５ m之内其可靠性与准确性满 μ 足超精密运动控制系统的粗定位要求. : ; ; ; 关键词容栅尺编码器　　 BiSSＧCFPGA 中图分类号: 文献标识码: : / TP２１２．９　　 A　　doi１０．３７８８YJYX０３８６ ResearchandrealizationofBiSSＧC rotocolencoder p interfacebasedonFPGA