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微电子技术（周雪峰）2-晶圆制备.pdfVIP

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  • 2017-07-11 发布于浙江
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微电子技术（周雪峰）2-晶圆制备.pdf

    半导体工艺-1 晶圆制备 1 晶圆晶圆 芯片制造过程芯片制造过程 核心核心 制备制备制备制备 工艺工艺工艺工艺 2 半导体半导体半导体半导体工工艺艺艺艺 晶圆制备 薄膜淀积 杂质掺杂 光刻和刻蚀 集成工艺 3 晶圆制造过程 Si GaAs 起始材料 SiO2

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