红外测温和诊断用热释电陶瓷材料的研究论文.pdfVIP

2003年十一省(市)光学学术会议论文集 红外测温和诊断用热释电陶瓷材料的研究 姚春华瞿翠风董显林 中国科学院上海硅酸盐研究所，上海定西路1295号，200050 1．sic．8C．cn yaochunhuaOmai 摘要本文详细阐述了热释电材料制成的红外探测器进行红外探测的基本原理．并研究了用于红外探测器敏感元 的热释电陶瓷材料，成功制备了PFNZT三元系统的热释电陶瓷材料，得到了该材料和用该材料制成器件的相应的 性能。使用此材料制成器件后可望在红外测温和诊断中得到广泛应用． 1．引 言 红外测温和诊断是利用红外辐射原理，通过非接触方式对被测物体的表面温度进行观测和记录。 根据红外辐射的基本定律可知：一被测物体的表面辐射系数一定时，它的辐射功率与其绝对温度T的四 次方成正比。因此，对物体表面温度的检测就变成为对其辐射功率的检测。物体的辐射功率是与它的材 料、结构、尺寸、形状、表面性质、加热条件及周围的环境和其内部存在的故障、缺陷等诸因素密切相 关的。当被测物体其他条件不变的情况下．仅仅是产生了故障和缺陷，它的表面温度场分布将也会发生 相应的变化：若被测物体的材料特性发生异常，其表面的温度也将相应改变；因此，应用红外原理进行 物体表面温度的检测，可以为分析被测目标的现有状态提供有用的信息。 用热释电效应来探测红外辐射的设想始于193811】，用热释电材料制成的红外探测器可以把被测物 体入射的功率转化成电能。我们知道：灵敏度和探测率是衡量探测器的两项重要指标。探测器的探测率 D’可通过下式计算【2】： D‘=Vs(AA0’尼，vnW(cmHzl／2／w) 式中：Vs是某一频率时的信号电压，Vn是某一频率时的噪声电压，A是敏感元的面积，△f是放大器的 带宽。而灵敏度的分析和计算就需要引入等效噪声功率(NEP)参数是非常有必要的。探测器的等效噪 声功率物理含义是在每秒一周带宽频率下，入射一个电磁能功率，它产生的电压信号在数值上等于噪声 电压。这就意味着入射功率如果小于噪声功率．单靠热释电效应产生的信号是无法被探测到的。所以任 何一个热释电探测器的等效噪声功率实际上就是探测器的极限灵敏度。NET它与材料的本征性能和探 测器设计条件有关系的。通过一些列的理论推导得到【4】： NEP[Cpp(ErtallS)1忍／P][2(4KT∞Ahso)1‰】 其中c。是热释电材料的恒压比热，P是材料比热，伐是入射能的吸收系数，￡r是材料的介电常数，tan6 使材料的介电损耗，P为材料的热释电系数。 从这个方程式我们可以清楚的看到，第一个方括号与材料的本征参数有关，第二个方括号与器件控 制因素有关。所以。对我们来说只要研究符合红外探测器的材料即可。通过大量的试验，我们己研究出 组份为PFNZT三元系的热释电材料。此材料有以下优点：1)既有较高的热释电系数，又有较低的介 电常数，故材料的热释电优值月、R、而比较高：2)在OoC～700C热释电系数具有良好的线性性，使 得探测器在此温度范围内具有相同的探测率，有利于装置的简化。3)在每个工作循环后，陶瓷材料不 需要重新极化。 用热释电效应来探测红外辐射与其他类型的热辐射探测器相比有一些列的优点[31：1)．能在较宽的 温度范围内工作；2)．光谱响应宽，可以探测引起热释电体温度变化的任何热辐射；3)．结构紧凑，机械 强度好；4)．无需外部偏置电场；5)．仅对温度变化率有响应，不必像热电偶那样需要达到热平衡，因 而响应快。 用于热释电探测器敏感元的材料从组成和结构上大体可分为四种类型：单晶、陶瓷、薄膜和复合热 J59 释电材料。晶体材料存在一个制备困难和成本高的问题，因此限制了其大规模的应用：薄膜目前只能制 作简单价廉的探测器．只有当薄膜的热释电性能进一步提高时才有其应用价值；复合热释电材料是最近 才发展起来的，还有许多问题值得研究。而陶瓷热释电材料具有制作工艺简单，成本低，性能稳定可靠， 容易加工，机械性能好，耐电强度高等一些列优点，使其能在高温、大面积、大批量