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工 具 技 术 TiN涂层残余应力对其界面结合强度的影响* 胡爱萍 孔德军 朱 伟 江苏工业学院 摘 要：用x射线衍射法测试了40c·基体表面生成的TiN涂层结合界面残余应力，并利用划痕试验法测试了 TiN涂层的结合强度，建立了残余应力与结合强度的定性关系。试验结果表明，TiN涂层残余应力对其结合强度有 明显的影响，涂层残余应力越大，其结合强度越小，在涂层制备程中减小残余应力，有利于提高其结合强度。 关键词：结合强度，x衍射法(XRD)，TiN涂层 ，残余应力 EffectsofResidualStressesofTiN CoatingonItslnterfacialBondingStrength HuAiping KongDejun ZhuWei Abstract：ResidualslressesofTiNcoatingbonding interfacecoatedonthe40CrsubstrateweremeasuredbyX—raydiffraction (XRD)，bondingstrengthofTiNcoatingwasmeasuredwithscratchingtest，andthequalitativerelationbetweenresidualstressnad bonding strengthisestablished，Theexperimentalresultsareshownthattheeffectofresidual stressofTiN coatingonitsbonding srtengthisobvious，thebiggerresidual s~essofTiNfilm，thesmalleritsbondingstrength，thedecreaseofresidualstresswillben— efitedimproveitsbendingstrengthduringTiN coatingpreparation． Keywords：bendingstrength， X-raydiffraction(XRD)， TiNcoating， residualstress 1 引言 2 试验方法 TiN涂层作为一种新型超硬涂层材料，具有高 2．1 残余应力检测机理 硬度、高韧性、低摩擦系数和与基体结合力强等优 良 x射线衍射法是测定涂层残余应力最可靠和最 的综合力学性能，作为最重要的刀具涂层材料得到 实用的的方法之一，其基本原理是多晶材料存在残 广泛应用…1。如何提高TiN涂层的附着力，一直是 余应力时，应力作用使晶面间距发生变化 (图1)，相 该领域的研究热点。界面结构对功能涂层材料的性 应的衍射峰也将产生位移 (见图2)，以测量衍射线 能起着至关重要的作用，由于界面结合涉及大量原 位移作为原始数据，所测得的结果实际上是残余应 子以及界面间作用的复杂性，因此对涂层材料的研 变，由于残余应力的存在引起晶格畸变，使得晶格常 究不仅要注重其显微结构和界面原子像，而且还要 数发生变化，根据Bragg衍射公式_5J 关注其界面的电子结构和性质_2J。TiN涂层具有诸 2dsin0= (1) 如高熔点、超硬度、良好的电、热传导性等 良好特性， 确定涂层材料的晶面间距后，则涂层应力为 是一种很有潜在应用价值的功能材料。 F = E E (2)