冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究-辽宁省太阳能光伏系统.PDF

网络出版时间：2017-02-24 17:14:06 网络出版地址：/kcms/detail/31.1363.TQ1714.020.html 第32 卷 第3 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 32 No. 3 2017 年3 月 Journal of Inorganic Materials Mar., 2017 文章编号: 1000-324X(2017)03-0281-06 DOI: 10.15541/ji 冶金法制备太阳能级多晶硅的耦合除杂研究 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 3 李鹏廷 , 王 凯 , 姜大川 , 任世强 , 谭 毅 , 安广野 , 张 磊3 3 3 , 郭校亮 , 王 峰 (1. 大连理工大学 材料科学与工程学院, 大连116024; 2. 大连理工大学 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室, 大连116024; 3. 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司, 青岛266200) 摘 要: 以工业硅为原料，利用介质熔炼、定向凝固和电子束熔炼三种熔体处理技术对工业硅中的B 、P 和金属杂 质进行了去除，制备出了99.9999%级多晶硅材料，其中，杂质B 和P 的含量分别低于0.20 ppmw （parts per million (weight)，百万分之一质量），金属杂质总含量（TM ）低于0.23 ppmw 。研究发现，介质熔炼去除杂质B 的过程中， 熔体中发生氧化还原反应可以有效去除大部分的杂质 Al 和 Ca ；电子束熔炼过程中，利用饱和蒸气压原理可以有 效去除挥发性杂质 P 、Al 、Ca ，同时降束诱导多晶硅定向凝固，可将其他金属杂质进一步去除。本研究通过各技 术间的耦合除杂，减少了冶金法提纯多晶硅的工序，为连续化、规模化生产提供了技术支撑。 关 键 词: 工业硅; 介质熔炼; 定向凝固; 电子束熔炼 中图分类号: TF89 文献标识码: A Coupling of Metallurgical Method to Remove Impurities in Solar Grade Polycrystalline Silicon 1,2 1,2 1,2 1,2 1,2 3 LI Peng-Ting , WANG Kai , JIANG Da-Chuan , REN Shi-Qiang , TAN-Yi , AN Guang-Ye ,