磁控溅射制备纳米薄膜导电性的研究-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , 文章编号 一 一 一 磁控 溅射制备纳米 薄膜导 电性 的研 究 , , , , , , 顾 广 瑞 ‘ 李英 爱 ‘ 陶艳春 何 志 ‘ 赵 永 年 ‘ 吉林 大 学超 硬 材 料 国 家重 点 实验 室 , 长春 吉林 大 学超 分 子 结 构 和 谱 学开 放 实验 室 , 长 春 延 边 大 学理 工 学院 , 延 吉 摘 要 研 究 了在 纳米厚度 范 围 内, 薄膜 的导 电性与薄膜厚度和 基底材料 的关系 利 , , , 用射频磁控溅射方法 使 用高纯 靶 通入 和 。 的混合气体 制备 了 薄 膜 , 薄膜膜厚 在 室 温下测量 了不 同厚度 薄膜 的 电阻率, 发现 薄膜 的导 电性 , 先后在导体 、 半导体和 绝缘体范 围变化 这 归 因于基底材料 与 的功 函数不 同, 导 致 了界面 电子 的转移 , 功 函 数差决定 了 电子转移 的深度 关 键 词 薄膜 导 电性 电阻率 界面 电子转移 中图分类号 文献标识码 引言 、 是一种 多功 能材料 ,