磷浆法制备选择性发射极单晶硅太阳电池的研究.PDF

34 6 太 阳 能 学 报 Vol. 34 ，No． 6 第 卷 第 期 20 13 6 ACTA ENEＲGIAE SOLAＲIS SINICA June ，20 13 年 月 文章编号:0254-0096 (2013)06-1015-06 磷浆法制备选择性发射极单晶硅太阳电池的研究 ， ， ， ， ， ， 韩 允 赵谡玲 徐 征 俎云燕 海 博 刘金虎 刘志平 ( ， 100044 ) 北京交通大学太阳能研究所 北京 : ， 。 ， 摘 要 改变常规单晶硅太阳电池生产工艺 制备了选择性发射极太阳电池 主要方法是扩散之前 在电极区域 ; ， POCl 。 印刷一层磷浆作为磷源对电极区域进行重扩散 与此同时 在非电极区域采用 3 作为磷源轻扩散 以此方法 ， 。 ， 制备了选择性发射极高效太阳电池 且与常规工艺电池片进行对比测试 经过测试 转换效率比常规工艺电池片 高0 ． 6% 。 : ; ; ; 关键词 太阳电池 选择性发射极 磷浆 丝网印刷 中图分类号:TK513 文献标识码:A ［4］ ， 碍金属离子向基区扩散 从而提高电池的短路电 0 引 言 、 。 流 开路电压和转换效率 ， 在晶体硅太阳电池的研究中 最重要的目标是 、 。 ， 提高效率 降低成本 到目前为止 单晶硅太阳电池 在实验室最高纪录的转换效率是由澳大利亚UNSW 大学Green M A ［1］教授所领导的研究小组制备的 PEＲL (Passivated Emitter ，Ｒear Locally Diffused )电 ， 25% ， 池 效率达 商业上规模化生产太阳电池的转 换效率一般在 16% ～ 18% 之间［2］。在常规晶体硅 ， ， 太阳电池中 为了减小电极和硅片的接触电阻 通常 1 图 选择性发射极实现原理图 45 / 要求扩散后进行方块电阻约为 Ω □ 的高浓度掺 Fig． 1 The principle diagram of selective emitter ， ， 杂 但此时电池的顶层复合大 限制了电池的转换效 ， 。