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文件变更履历表-国家奈米元件实验室
機台名稱： 機台編號： CF-T15 制訂部門： 營運組 制訂日期： 2006/08/15 文 件 制 修 訂 記 錄
NO 發行日期 修訂SOP書編號 制修訂內容 修訂頁次 版本 01 2006/09/01 制定初版 01 02 03 04 05 06 07 08
核 准 審 查 制 訂 一、 目 的：
定義標準作業程序，確保操作品質。
二、 範 圍：
適用於。
三、 權 責：
1. 組織權責：工程師負責制定及修改規範。
2. 執行人員資格：經過考核通過之人員。
四、 名詞定義：
無。
五、 相關文件：
無。
六、標準作業程序：
檢查機台是否標示為 “運轉中”。
刷卡開機。
設定N2流量。
設定製程溫度(不可高於600oC)。
升溫啟動。
等待chamber內溫度升至所設定的溫度。
穿戴防護手套。
置入晶片。
等待自己需求的製程時間。
時間到達後，取出晶片。
將製程溫度設定為0oC。
等待半小時以上，確定溫度確實往下降。
關閉N2。
關閉控制面板。
刷卡關機。
填寫使用記錄。
七、應用表單及附件：S4-NL01A設備考核表。
S4-NL01B設備點檢表。
S4-NL01C設備使用記錄表。
S4-NL02A異常處理單。
S4-NL04B儀器設備管理卡。
國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室National Nano Device Laboratories 文件編號
DOCUMENT NO. 總 頁 數
TOTAL PAGE 共 2 頁 文件名稱
TITLE 標準作業程序
TrueLight 文件名稱： 文件編號： 制訂單位： 版 本： 制訂日期： 修訂日期： 頁 次： 第 1 頁，共 1 頁
** 本文件為光環科技股份有限公司專有之財產；未經書面許可，不准對外公開、不准複製私自保存、亦不准轉變為其它任何形式使用。**
國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室National Nano Device Laboratories DOCUMENT NO.： TITLE： 後段常壓退火爐管 標準作業程序 ISSUE DATE 2006/09/01 REVISION 01 PAGE 第 2 / 2 頁
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