激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化.pdfVIP

维普资讯 第 16卷 第 4期 光学 精密工程 Vo1．16 No．4 2008年 4月 OpticsandPrecisionEngineering Apr．2008 文章编号 1004-924X(2008)04—0570—09 激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化 金占雷，谭久彬，张 山，王 雷，吕云飞 (哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江 哈尔滨 150001) 摘要 ：提 出了一种 S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析 S曲线光强控制模型的参数变化对线条 闭合质量影响 的基础上，以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优，确定出光强控制模型中的圆弧弧度 0和 曲率半径 R 的函数关系 。基于该优化方法的对接 区域长度 由0唯一确定，且当0较小时，其仅为斜线段光强控制方法确定的对接 长度的2倍 。实验结果与理论分析吻合 ，表 明该优化方法进一步增加 了对接 区域曝光量分布 的有效过渡长度 ，减缓 了曝 光量在路径方 向上 的变化速率 ，从而在保证直写效率 的同时提高了线条对接质量 。 关 键 词 ：S曲线光强控制 ；激光直写；参数优化 ；对接质量 ；曝光量分布 中图分类号：TN305．7 文献标识码 ：A OptimizationofS-curveintensitycontrolmodelforlaserdirectwriting JIN Zhan—lei，TAN Jiu—bin，ZHANG Shan，WANG Lei，LO Yun—fei (InstituteofUltra—precisionOptical ElectronicInstrumentEngineering。 HarbinInstituteofTechnology，Harbin150001，China) Abstract：An optimizationmethodofS-curve intensity controlmodelwasproposed forfurtherim— provementofjointqualityduringlaserdirectwriting．OnthebasisofanalyzingtheeffectoftheS- curveparametervariationonthejointquality，theoptimizedinterrelationshipoftheradian0andthe radiusR usedinthecontrolmodelwasestablishedconsideringittObeoptimalwhentheexposuredose distributiongotanextremum atonepoint．Thejointlengthafteroptimizationcanbesimplydeter— minedbytheradian0，andisjusttwiceaslongasthatofusingslope—linecontrolmethod．Theexperi— mentalresultsareconsistentwiththetheoreticalanalysis，andindicatethattheproposedoptimization methodcanfurtherincreasethevalidtransitionarealengthandcanreducethevariationrateofexpo- suredosedistributionatthejointarea．Thereforetheproposedmethodimprovesthejointqualityas wellasguaranteesthewritingefficiency． Keywords：S-curveintensitycontrol；laserdirectwriting；parameteroptimization；