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基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术研究.pdf
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基于CPLD的半导体设备电源系统
控制技术研究
井海石,肖雅静,田洪涛,熊朋
(中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176)
摘 要:研究基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术,介绍了CPLD相关知识、电源系统控
制原理、电源系统控制硬件软件设计及抗干扰技术,最后结合实际应用指出基于CPLD的电源控
制技术具有广泛的应用前景。
关键词:复杂可编程逻辑器件;半导体设备;电源系统控制
中图分类号:TN86 文献标识码:A
of
onthe Semiconductor
Study ControllingTechnology
Power BasedonCPLD
EquipmentSystem
JING
Haishi,XIAO Hongtao,XIONG
Yajing,TIAN Peng
45m
(TheResearchInstituteof 100176,China)
CETC,Beijing
semiconductor
Abstract:Inthis of based
technology system
paper,thecontrolling equipmentpower
on is
CPLD studiedon.The onCPLD,the
mainly knowledge powersystemcontrollingprinciples,the
ofhardwareandsoftware,andtheanti-interferenceare
power designs technology
systemcontrolling
last,combinedwiththeactual the of
presented.At application,thatcontrollingtechnologypower
basedonCPLDhasawide is out.
prospectpointed
Keywords:Complexprogrammablelogicdevice(CPLD);Semiconductorequipment;Powersystem
controlling
半导体设备涉及传感识别、运动控制、温度控 设备的心脏,电源系统稳定工作是设备正常工作
制、图像处理、计算机通信等众多领域。系统结构 的先决条件。半导体设备对电源系统的控制要求
复杂、功能模块众多,技术含量极高。半导体设备 比较高,一是电源控制可靠稳定;二是实现特定控
的电源系统也是很复杂的,即包含交流电源又包 制功能,如时序启动、分模块上电、延时断电以及
含直
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