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匝燮盏垦蚕警夏基基蠢型垦基■昌口麴圈豳塑幽燮塑燮燮幽豳圈豳豳 垦±皇旦堕鱼堕蒌皇王童旦塑鱼堡窒 基于CPLD的半导体设备电源系统 控制技术研究 井海石,肖雅静,田洪涛,熊朋 (中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176) 摘 要:研究基于CPLD的半导体设备电源系统控制技术,介绍了CPLD相关知识、电源系统控 制原理、电源系统控制硬件软件设计及抗干扰技术,最后结合实际应用指出基于CPLD的电源控 制技术具有广泛的应用前景。 关键词:复杂可编程逻辑器件;半导体设备;电源系统控制 中图分类号:TN86 文献标识码:A of onthe Semiconductor Study ControllingTechnology Power BasedonCPLD EquipmentSystem JING Haishi,XIAO Hongtao,XIONG Yajing,TIAN Peng 45m (TheResearchInstituteof 100176,China) CETC,Beijing semiconductor Abstract:Inthis of based technology system paper,thecontrolling equipmentpower on is CPLD studiedon.The onCPLD,the mainly knowledge powersystemcontrollingprinciples,the ofhardwareandsoftware,andtheanti-interferenceare power designs technology systemcontrolling last,combinedwiththeactual the of presented.At application,thatcontrollingtechnologypower basedonCPLDhasawide is out. prospectpointed Keywords:Complexprogrammablelogicdevice(CPLD);Semiconductorequipment;Powersystem controlling 半导体设备涉及传感识别、运动控制、温度控 设备的心脏,电源系统稳定工作是设备正常工作 制、图像处理、计算机通信等众多领域。系统结构 的先决条件。半导体设备对电源系统的控制要求 复杂、功能模块众多,技术含量极高。半导体设备 比较高,一是电源控制可靠稳定;二是实现特定控 的电源系统也是很复杂的,即包含交流电源又包 制功能,如时序启动、分模块上电、延时断电以及 含直

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