综论超精密加工技术的发展.pdfVIP

Vol2l No5 机械研究与应用 第2l卷 第5期 20o8一l0 MECHANICALRESEARCH ＆APPUCATION 2008年 lO月 综论超精密加工技术的发展 赵 健 (青岛理工大学 汽车与交通学院，山东 青岛 266520) 摘 要：Or绍超精密加工技术的发展，并展望其前景；阐述超精密切削加工及超精密砂轮磨削加工中的核心技术，对 超精密加工技术的研发和创新有参考意义。 关键词：超精密切削；金刚石刀具；超精密磨削；砂轮 中图分类号：TG506 文献标识码 ：A 文章编号：1007—4414(2008)05—0006一o3 Summaryofultra—-precisionprocessingtechnologydevelopment Zhao Jian fVehicleandtra~cschoolofQingdaotechnologicaluniversity-QingdaoShand~ng 266520。China) Abstract：Theauthorintroducesdevelopmentofultra—precisionprocessingtechnologyand itsprospects．Hededicatesthe c0 technologyinhteultra—prceisionmachiningandhteultra—precisionwheelgrinding．nadhtatcouldcontributetothere· searchdevelopmentandinnovationofultra—precisionprocessingtechnology． Keywords：ultra—-precisionmachining；diamondcuttingtool；ultra——precisiongrinding；grindingwheel 超精密加工技术是指加工精度能达到某一量级 位。日本在8O年代因重视超精密加工技术基础研 的所有制造技术的总称。也就是说，从被加工零件表 究，并把它用于高科技产业中，取得了世界领先的优 面取出一微量的表面层，包括超精密切削、超精密磨 势，成为超精密加工技术发展最快的国家之一。但 日 削和超精密特种加工等。它既服从一般切削加工的 本的研究重点不同于美国，它主要以民用商品应用为 普遍规律，又具有 自身的特殊性。譬如，刀具的磨损、 主要对象，而美国则是以发展国防尖端技术为主要 目 积屑瘤的产生规律、磨削机理、加工参数对表面质量 标。日本用于声、光、图像、办公设备中的小型超小型 的影响等。如果加工的尺寸、形状精度高于0．1m， 电子和光学零件的超精密加工技术更加先进和具有 表面粗糙度Ra≤O．01pan的加工就称得上超精密加 优势，甚至超过美国。 工技术。其研究涉及的范围相当普遍，主要包括超精 密切削(车、铣)、超精密磨削、超精密研磨 (机械研 磨、机械化研磨、研抛、非接触式浮动研磨、弹性发射 加工等)，以及超精密特种加工(激光束加工、电子束 加工、离子束加工等)等。例如，仅超精密车削加工 技术就涉及几十个方面，如图1所示…。 超精密加工技术是世界各国争相发展的关键技 术，各国已把超精密加工技术列为国家重点发展的技 术，而且成为衡量一个国家制造水平的标志。超精密 加工技术是美国2O世纪 60年代初用单刃金刚石工 具切削铝合金获得镜面开始的，是基于宇航和军事技 术的需要发展起来的。在美国，其技术 目前仍处于世 图1 超精密切削加工技术研究所涉及结构体系 界领先地位，特别是由美国Moore公司研制的Free— form700G五轴超精密 自由曲面铣、磨机床，代表着当 我国的超精