- 1、本文档共6页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
无模型自适应模糊算法的多晶硅棒温度控制 - 先进控制系统研究所概况
244 2016 ,52(1) Computer Engineering and Applications 计算机工程与应用
无模型自适应模糊算法的多晶硅棒温度控制
谢 宏,陈俊辉,陈海滨,邹高亮,杨 鹏,谭阳红,何怡刚
XIE Hong, CHEN Junhui, CHEN Haibin, ZOU Gaoliang, YANG Peng, TAN Yanghong, HE Yigang
湖南大学 电气与信息工程学院 自动化系,长沙 410082
College of Electrical and Information Engineering, Hunan University, Changsha 410082, China
XIE Hong, CHEN Junhui, CHEN Haibin, et al. Model free adaptive fuzzy control of temperature of silicon rod in
reduction. Computer Engineering and Applications, 2016, 52 (1):244-249.
Abstract :Temperature control of the silicon rod surface in the reduction furnace of polycrystalline silicon requires that
the surface temperature of the silicon rod has to be maintained at the optimal reaction temperature and the fluctuation
should not be violent. Due to the change of the electrical structure of the silicon rod as a result of the vapor deposition reaction
in the production of polycrystalline silicon, there exists the characters of interconnection and nonlinear. This paper adopts
the double closed-loop control system with model-free adaptive fuzzy controller as the major controller and PI as the aux-
iliary controller. It uses the structure of model-free adaptive controller and carries out on-line revision of its parameters by
means of fuzzy rules, which not only ensures the convergence and stability of the temperature control system, but also
enhances the rapid dynamic performance of the system toward temperature control. The simulations show the availability
of this control method.
Key words :model-free adaptive; fuzzy control system; parameter self-tuning; silicon rod temperature
摘 要:多晶硅还原炉硅棒表面温度控制既要保证硅棒表面在最佳反应温度,又不要使其波动较大。由于多晶硅生
产过程中的气相沉积反应使硅棒电气结构发生变化,因而存在很强的耦合作用和非线性特性。提出了以无模型自
适应模糊控制器为主控制器,以PI 为副控制器的双闭环结构的控制系统,采用基于无模型自适应控制器的结构,根
据无模型自适应控制器的参数学习因子和步长序列对系统动态性能影响趋势,使用模糊自适应方法,通过模糊规则
在线修正无模型自适应控制器的学习因子和步长序列两个参数,使温度控制系统既能保证收敛稳定性,又能提高系
统对于温度控制的动态性能。仿真结果表明了该控制方法的有效性。
关键词:无模型自适应;模糊控制;参数自整定;硅棒温度
文献标志码:A
您可能关注的文档
- 油料作物来源的功能性食品.ppt
- 罗非鱼无乳链球菌c5a 肽酶的克隆及原核表达 - 华中农业大学学报.pdf
- 半导体器件金铝键合的寿命研究 - 微电子学.pdf
- 六种零食助你抗癌.ppt
- 生医光电 - 国立成功大学光电科学与工程学系.ppt
- 甘肃省麦积山景区 - 生态学报.pdf
- 环磷酰胺引起的大鼠间质性膀胱炎及其行为学改变 - 第三军医大学学报.doc
- 天然石材的表面.ppt
- 第7 章汽油直接喷射系统.ppt
- 尿激酶型纤溶酶原激活物(upa)及其抑制物-1(pai-1)在.doc
- 第十一章 电流和电路专题特训二 实物图与电路图的互画 教学设计 2024-2025学年鲁科版物理九年级上册.docx
- 人教版七年级上册信息技术6.3加工音频素材 教学设计.docx
- 5.1自然地理环境的整体性 说课教案 (1).docx
- 4.1 夯实法治基础 教学设计-2023-2024学年统编版九年级道德与法治上册.docx
- 3.1 光的色彩 颜色 电子教案 2023-2024学年苏科版为了八年级上学期.docx
- 小学体育与健康 四年级下册健康教育 教案.docx
- 2024-2025学年初中数学九年级下册北京课改版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年初中科学七年级下册浙教版(2024)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学信息技术(信息科技)六年级下册浙摄影版(2013)教学设计合集.docx
- 2024-2025学年小学美术二年级下册人美版(常锐伦、欧京海)教学设计合集.docx
文档评论(0)