微焦点x射线数字成像系统的最佳分辨率!.pdfVIP

匝塑星蠡茎≤呈盟壑墓星垦鹜■昌■j塑舅鬯翼豳鬯鬯鬯颦塑鬯曼笪豳 主曼堡型重三茎墨。堡重圭曼签型遣三茎皇堡鱼 微焦点X射线数字成像系统的 最佳分辨率 刘骏1，杨龙1，刘军2 (1．无锡日联科技股份有限公司，江苏无锡214145； 2．中信戴卡股份有限公司，河北秦皇岛066011) 摘 要：根据微焦点X射线数字戚像检测系统在半导体行业中实际应用的要求，通过推导得出 微焦点X射线数字成像检测系统的分辨率与放大倍数的数据关系式，并带入到实际的检测系统 中，绘制出了系统分辨率与放大倍数关系曲线：通过曲线说明了应用在半导体行业的微焦点X 射线数字成像检测系统，在一定放大倍数范围内，系统具有最佳分辨率．并通过实验的数据与理 论值对比．验证了结论的正确性。 关键词：微焦点X射线；最佳分辨率：放大倍数： 中图分类号：TN405 文献标识码：B The ResolutionofTheMicrofocus Optimum X-rayInspectionSystem LIU Jun2 Junl，YANG Lon91，LIU (1．Wuxi Co．，Ltd，Wuxi214145，China； unicomptechnology 2．CITICdicastal 066011，China) Co．，Ltd，Qinhuangdao Abstract：Basedonthe ofthemicrofocus inthe requirements X—rayinspectionsystem application electronicsemiconductortherelation of formularesolutionand inthe industry，derived magnification microfoCUS andusedtheformulaintotheactual drawthe X—rayinspectionsystem system，to system resolutionandthe relation thecurve whena illustrates microfoCUS magnificationcurves．Through isusedintheelectronicsemiconductor acertain X—rayinspectionsystem industry，withinrange hasthe resolution．And with dataand magnification，systemoptimum bycompariso