单元计数辅助软件“Marrive”.PDF

单元计数辅助软件 “Marrive” ASTRON Inc. 前言 • 在用电子显微镜观察DRAM/SRAM/Flash等容易出现故障的反 复图形部分时，由于没有明显的特征点，很难观测到想观测 的位置。 • 目前都是透过人力来目测计数，在调整视野时容易产生人为 的误失,缺乏可靠性。 • 人力目测计数的缺点 ① 需要很高的集中力。 ② 容易疲劳。 ③ 对于结果的准确性感到不安。 ④ 可能需要反复计数多次。 ASTRON Confidential / Proprietary 单元计数辅助软件 “Marrive” ・ Marrive ： Manage to Arrive at destination ・ 2010年8月开始销售。 ・ 透过图像处理技术自动识别反复的图像形状，可对目测计 数进行支援的软件。 ・ 可以不必像目测计数一样需要很高的集中力及反复计数， 使计数可以更放心，可靠性更高。 使用Marrive计数的优势 ① 不需要很高的集中力。 ② 不容易疲劳。 ③ 可靠性高 ④ 能更快地找出位置 ASTRON Confidential / Proprietary 3 单元计数方法 指定计数单元 ASTRON Confidential / Proprietary 单元计数方法 向右移动Stage 之后、向下移动Stage ASTRON Confidential / Proprietary ASTRON Inc. 单元计数方法 (8,0) (8,5) ASTRON Confidential / Proprietary 系统构成 SEM装置 WindowsPC NTSC(视频）信号线 ・单元计数软件 ・图像捕捉 ・图像处理库 ・NTSC信号线 7 ASTRON Confidential / Proprietary 系统构成 Marrive (单元计数辅助软件） 单元计数工作示意图 ASTRON Confidential / Proprietary