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用于长波长光纤通信的InGaAs_InP PIN光电探测器的新结构和新工艺
学校编码：10384 分类号_________ 密级 秘 密
（未经许可，不得外传）
学 号：200024012 UDC _________________________
厦 门 大 学 硕 士 学 位 论 文
用于长波长光纤通信的 库
InGaAs/InP PIN 光电探测器的新结构和新工艺
要
刘 彩 虹 摘
（Liu Caihong ）
文
论
指 导 教 师： 陈 朝 教授（博导）
毕 业 院 校： 厦 门 大 学 物 理 系
士
学 位 级 别： 硕 士
硕
专 业 名 称： 凝 聚 态 物 理
研 究 方 向： 集 成 光 电 子 学
博
论文提交日期：2003 年7 月26 日
学
大论文答辩日期：2003 年7 月30 日
学位授予单位：厦 门 大 学
门 学位授予日期：2003 年 月 日
厦 答辩委员会主席：吴正云 教授
评阅人： 陈松岩 副教授
范迎喜 高工
2003 年7 月
目 录
论文摘要（中文）1
论文摘要（英文）2
第一章 引言3
第二章 InGaAs/InP PIN 光电探测器的新结构7
库
§2.1 PIN 光电探测器的暗电流特性7
要
§2.2 器件新结构和异质结分离效应10
§2.3 Al2O3 做钝化膜和抗反射膜12
摘
§2.4 器件光刻掩膜版图的设计14
文
§2.5 器件材料的生长18
第三章 InGaAs/InP PIN 光电探测器的新工艺21
论
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