相结构对氮化钛硼薄膜摩擦磨损性能的影响-摩擦学学报.PDF

第 28 卷 　第 1期 摩 擦 学 学 报 Vo l 28, 　No 1 2008 年 1月 TR IBOLO GY J an, 2008 相结构对氮化钛硼薄膜摩擦磨损性能的影响 1 2 王俊平 , 陆永浩 ( 1. 北京建筑工程学院 基础科学部 , 北京 　100044; 2. 北京科技大学 材料物理系 , 北京 　100083) 摘要 : 采用直流非平衡磁控溅射系统在单晶硅片表面制备 TiB N 薄膜 ,采用 X射线衍射仪和 X射线光电子能谱议测 x y 定 TiB N 薄膜的相结构和成分 ,采用销 盘式摩擦磨损试验机研究 TiB N 薄膜的滑动干摩擦磨损性能 ,并采用光学显 x y x y 微镜 、扫描电子显微镜和 X射线光电子能谱仪表征薄膜的磨痕表面结构及其化学特征. 研究表明: TiB N 薄膜的相结 x y 构与 N 含量有关 ,在 TiB0. 65薄膜中加入 N 能够促使纳米晶 TiN 的形成 ;薄膜的摩擦系数和磨损率与其相结构有关 ,随 着薄膜中 TiN 的体积分数增加 ,摩擦系数增大 ,磨损率降低 ; 当薄膜中 N 含量约为 37at. %时 , TiN 的体积分数和摩擦 系数最高 ,磨损率最低 ;增加 N 含量促使 hBN 相形成 ,且 h BN 相的体积分数随 N 含量的增加而增大 , h BN 相的形成 ( ) 降低了摩擦系数 ,增加了磨损率 ;在摩擦过程中磨屑发生氧化而生成钛的氧化物 TiO、Ti O 、TiO 以及少量硼 B 的氧 2 3 2 化物. 关键词 : TiB N 薄膜 ; 相结构 ; 摩擦磨损性能 ; 氧化 x y 中图分类号 : TH 117. 3 文献标识码 : A 文章编号 : (2008) 0 1002805 ) ( ) 　　近年来 ,利用获得表面硬质薄膜的表面改性技