PVT S25 真空超硬镀膜系统 - 普威特涂层.PDF

PVT S2.5 真空超硬镀膜系统 with new PDA III* - Technology 全新的等离子扩散第三代电弧蒸发技术 PVT S2.5 是最先进的工业化生产的小型真空镀膜系统，采用 改善了热处理系统 了最新开发的PDA* III- 等离子扩散第三代电弧蒸发技术。专 加强了水冷却功能 门设计用于在各种工具和模具以及磨蚀部件表面沉积高性能 炉室均采用双层内壁结构 的耐磨，防腐蚀，防磨损以及防摩擦的冶金硬膜，如： AlCrN, AlCrSiN, AlTiSiN, AlCrN, AlTiN, CrN, TiC,N, TiN 以及其它 最安全最可靠的硬件构成 按客户要求开发的各类专用膜层。 品牌部件 完美组合 PVT S2.5 的特征如下： • 利用尖端的真空镀膜技术，完善的系统设计为产品提供了严 格的生产环境。 • 坚固的结构中展现了极其先进的和高度精致的设计理念。 • 卓越的可靠性能是基于智能简明的设计和构造。 • 每一个涂层系统都可作做到最低的成本，提供最广泛的涂层。 • 全自动计算机控制，闭路循环工艺控制，保证了工艺的重复可 靠性，更易于客户掌握。 • 涂层行业占地最小，功能最多的镀膜系统。 PVT S2.5 技术上的最显著特点 PDA III* －技术 最新开发的第三代电弧蒸发技术。 “等离子－扩散－电弧－蒸发”技术（参见右图） 第二代电弧蒸发轨迹 全新的PDA III*- 等离子扩散电弧 沉积的膜层更光滑更致密 第三代电弧蒸发技术 MACIII* 第三代磁电弧控制装置 PVT S2.5 镀膜系统尺寸，工艺参数和生产能力： 提高了靶材的利用率。 真空室尺寸： 680 ×650 ×1150mm 很好地解决了微粒问题，膜层均匀致密。 涂层容积： Ø 350 ×720 mm 旋转平台数量： 2 台 工艺时间缩短 （装载平台）长×宽×高 480 ×430 ×1015 mm 增强了加热功能 抽空系统： 2 个双级旋片泵 采用了更高效的炉内清洗和刻蚀工艺 1 个涡轮分子泵 镀膜特性改善 弧 源： 2 个大面积矩形电弧蒸发源 具有先进的界面构成 电 源： 2 个电弧蒸发源电源210A 特别洁净的工艺环境 可选：400A, 脉冲电源 加热器： 2 个，加热功率：每个12kW 改进了工件处理和装夹方式 设备整体尺寸： 长3.290 ×宽1.390×高2.230 mm 最安全的可移动装夹台车