前言一．慨述.PDF

武汉三工光电设备制造有限公司 1 前言 欢迎使用武汉三工光电设备制造有限公司开发生产的 SFS20 光纤激光划片 机，若您是首次使用此种型号产品，那么，在操作该产品前，请务必先仔细阅 读本使用手册。 一．慨述 SFS20 光纤激光划片机可广泛应用于硅﹑锗﹑砷化镓和其他半导体衬底材 料的划片与切割，特别适用于单晶硅﹑多晶硅﹑非晶硅太阳能电池的切割。该机 采用当今国际最先进的光纤激光器作为工作光源，由计算机控制的二维精密工作 台，能按预先设定的各种图形轨迹作相应精确运动。 工作光源为IPG Photonics 德国公司20W 脉冲掺镱（YLP-10）光纤激光器。 使用 Q 调制的主振荡和一个增益值为 50-60dB 的高功率光纤放大器，脉冲重复 频率20KHz~80KHZ 连续可调，激光脉冲峰值可达到20KW 。 二维精密工作台是采用高精度伺服电机驱动的双层结构。可由计算机系统 控制进行各种精确运动，系统分辨率可达0 ．003125 （5/1600 ）mm 。 武汉三工光电设备制造有限公司 2 二 工作描述及技术参数 光纤激光器经预热启动后，处于等待输出激光状态；计算机通过专用激光划 片软件一方面控制装载硅片的工作台作相应运动，另一方面输出信号控制光纤激 光器发射激光。输出的激光经聚焦后，在硅片表面形成高密度光斑，使被加工硅 片表面瞬间气化，从而实现激光刻划的目的。 激光波长： 1060nm 激光模式： M²2 （接近TEM00） 激光运作模式： 脉冲 脉冲重复率： 20KHz~80KHz 平均功率不稳定度： 5% 激光最大平均功率： 20W 工作台移动速度： ≥100mm/s 工作台行程： 不少于300×300mm 工作台面面积： 350×350mm 冷却方式： 风冷 电源： 220V 50Hz 1000W 武汉三工光电设备制造有限公司 3 三 结构及各部件性能 SFS10 光纤激光划片机由操作控制柜（含激光器）﹑计算机操作系统（含武 汉三工专用划片软件）﹑工件操作平台﹑真空吸附系统组成。 YLP-20 LCD 显示 光纤激光发 器 生器 精密焦距微 调旋纽 主控制盒 激光光头座 聚焦镜 工控电脑 工作台 SG-SFS20