项目技术要求解析.docVIP

项目技术要求 （包一）项目设备采购清单及技术指标等 序号 设备名称 产地 设备 技术指标 数量 单位 金额 （万元） 分包 情况 1 台阶仪 国外知名品牌 见附件 1 台 包1 如通过不正当手段谋取中标，实际产品技术指标未能达到招标文件技术要求而造成采购延误，采购方将向中标方寻求赔偿损失和追究法律责任； 技术部分要求： 1.台阶仪 仪器配置： Standard features include: ? step height repeatability 5 Angstrom, 1 sigma on 1um step 业内一流的台阶高度重复性5埃，1σ* 1um 台阶上 将在没有防震台情况下验收 ? Motorized X/Y stage with 150mm*150mm of travel, with closed loop is better 自动样品台，XY 行程150mm*150mm ?8“vacuum chuck, manual 360 degree rotation 8英寸真空吸附样品盘, 360度旋转 ? Scan length from 50μm to 55mm with up to 120,000 data points per scan，max200mm with stitching 扫描长度：50μm 至 55mm，可以拼接到200mm 可达120,00