应用于微结构制造自治系统的结构描述语言.pdfVIP

2005年12月 世界科技研究与发展 专题：工程技术 应用于微结构制造自治系统的 结构描述语言 严利人陈晓程 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘要：本文介绍一种微结构描述语言。借助于这种描述语言，包括集成电路、MEMs等在内的各 类微、纳尺寸的器件，都能够得到描述并借此进入微结构制造自治系统。微结构制造自治系统是我 所提出的一种概念性系统，意指具备一定的智能，能够应对多种制造过程突发情况的全自动化的集 成电路无人制造系统。系统在获得特定加工对象的结构描述之后，可对结构进行分析，提取结构特 征并自动生成加工制造工艺。本文结合一个cMOs结构实例，介绍了所定义的微结构描述语言的 各项先进特性。这方面研究工作的重要意义在于，每个微结构器件，包括将要被发明的，可视为微 结构描述语言所能够描述的对象集中的一个特例，从而得到统一的分析与处理。结构特征的分析， 为接下来的工艺流程自动生成工作搜集和准备了必要的结构信息。 关键词：微结构描述语言微结构制造 自治系统工艺开发 AMicrostructure Definedforan DescriptionLanguage Electronic Automation ManufacturingSystem YAN LirenC珈EN Xiaocheng of lo0084) (IJlstjtuteMjcroelectr仰ics，Tsjnghuaunjversjty，B刨jJlg d础“s剃 Abstract：A 打埘：n趔鲫d m站邶s￡r“c￡“旭幽cri弘io”如729蚴酽(JⅥI)L) Ar6z￡m叫 r跚￡蹦咒P mn”叫缸cf“旭p，仇缸c拈“nd盯懈rio“s n∞nc印f““￡弘￡所f加＆￡虻∞”抽de加n出”￡0 d“i饥，刮￡o旃P si￡抛￡iDns．A，}盯加ed船cri∥幻n盯Ⅱno何盯}￡o缸扣6ri衄￡d妇ing EMA妙s￡册z，胁P DⅡ招m aWOS 伽甜如r抽P雕Ⅲff“旭．A n dB虻r咖f幻n缸7zg“＆胛出声n础．As uD小 ，唧翔kdasMI)Lins缸nc邵，加f^a￡琥删如以c母mn如d∞如i胁抽口og￡跏口￡耙t蝴，nP 出scri6耐^e您gnf^P“”￡c邵m7≯5fr“c拙，刮in扣rmⅡ￡幻”nndp7℃声。r酷￡^Bs“加898nfp删s5皿 gP”ernfing． micr∞fr“cf“他 words：micr∞rr“甜“旭 (MDL)， Key 如scri声￡20n￡nn