溶胶一凝胶法制备k—n共掺zno薄膜的结构及光学特性.pdf

See discussions, stats, and author profiles for this publication at: /publication/272183446 - K—N ZnO /Structural and optical properties of K-N co-doped ZnO films prepared by sol-gel method Article in ongneng Cailiao/Journal of Functional Materials · November 2013 DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2013.22.020 CITATION READS 1 76 6 authors, including: Erqing Xie Lanzhou University 413 PUBLICATIONS 4,101 CITATIONS SEE PROFILE Some of the authors of this publication are also working on these related projects: Electronics of Low-dimensional Nanomaterials View project Electrochemical Supercapacitor View project All content following this page was uploaded by Erqing Xie on 18 February 2015. The user has requested enhancement of the downloaded file. 张振兴 等 ：溶胶一凝胶法制备 K—N共掺 ZnO薄膜 的结构及光学特性 文章编号 ：1001—9731(2013)223301～04 溶胶一凝胶法制备 K—N共掺 ZnO薄膜的结构及光学特性 张振兴，张海军，廖梦舟，周 华，谢二庆，潘孝军 (兰州大学 物理科学与技术学院，甘肃 兰州 730000) 摘 要： 采用溶胶一凝胶法在 Si(100)衬底上生长 了 法 等 。较之前面的方法 ，溶胶一凝胶法工艺简单，易 K与 N共掺的 ZnO薄膜 ，并用X射线衍射仪、扫描 电 于实现分子级掺杂和大面积低成本制备薄膜 。本文采 子显微镜、荧光分光光度计 、紫外一可见分光 光度 计对 用溶胶一凝胶法在 si衬底上制备 K—N共掺杂 ZnO薄 ZnO薄膜样 品的结构和光学特性进行 了研 究。结果 膜 ，并利用 x射线衍射仪、扫描 电子显微镜 、荧光分光 表明，溶胶一凝胶法制备 的ZnO薄膜为六方纤锌矿结 光度计 、紫外一可见分光光度计等测试手段对所制薄膜 构 。随着K掺杂浓度 的增大，薄膜 的结晶性变好 ，组 进行表征和分析 ，研究共掺杂对 ZnO薄膜结构和光学 成薄膜的颗粒变大，并表现 出C轴择优生长特性 ，同时 性质的影响。 掺杂导致的氧空位缺陷也在增加 ，使得绿光发射增强， 2 实 验 薄膜 的光学带隙先增后减。 关键词 ： ZnO薄膜 ；K—N 共掺杂 ；光学带隙 ；光致发 2．1 ZnO薄膜的制备 光谱 ；溶胶一凝胶法 实验 选 用 乙酸 锌 [Zn(CH。COO) ·2H O 中图分类号 ： 0472 文献标识码 ：A (AR)]、氯化钾[KC1]和氯化铵 [NH C1]为溶质 ，乙醇 DOI：10．3969／．issn．10O1_9731．20l3．22．020 为溶剂 ，二乙醇胺 [EHN(CH CH。OH)(AR)]作稳定