高功率调制脉冲磁控溅射沉积tialsin 纳米复合涂层 - 无机材料学报.pdfVIP

第30 卷 第 12 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 30 No. 12 2015 年12 月 Journal of Inorganic Materials Dec., 2015 文章编号: 1000-324X(2015)12-1254-07 DOI: 10.15541/ji 高功率调制脉冲磁控溅射沉积 TiAlSiN 纳米复合 涂层结构调控与性能研究 1, 2 1 1 1 吴志立 , 李玉阁 , 吴 彼 , 雷明凯 (1. 大连理工大学 材料科学与工程学院 表面工程实验室, 大连 116024; 2. 湖南农业大学 工学院, 南方粮油作物 协同创新中心, 长沙410128) 摘 要: 采用高功率调制脉冲磁控溅射Al/(Al+Ti)原子比(x)分别为0.25、0.5 和0.67 的TiAlSi 合金靶, 溅射功率1~4 kW, 氮气分压25%, 工作气压0.3 Pa, 在Si(100)和AISI 304 奥氏体不锈钢基片上沉积了TiAlSiN 纳米复合涂层。TiAlSiN 涂层中氮含量保持在 52.0at%~56.7at%之间, 均形成了 nc-TiAlN/a-Si N /AlN 纳米晶/非晶复合结构。随着原子比x 3 4 增加, 非晶含量增加, 涂层硬度先升高而后降低。当x=0.5 时, 硬度最高可达28.7 GPa 。溅射功率升高可提高溅射 等离子体中金属离化程度, 促进涂层调幅分解的进行, 形成了界面清晰的非晶包裹纳米晶结构, 且晶粒尺寸基本 保持不变。当x=0.67 时, 溅射功率由 1 kW 上升到4 kW 时, 硬度由16.4 GPa 升至21.3 GPa 。不同靶材成分和溅射功 率条件下沉积的TiAlSiN 涂层的磨损率为(0.13~6.25) ×10-5 3 mm /(N·m), 具有优良的耐磨性能。当x=0.67, 溅射功率 2 kW 时, nc-TiAlN/a-Si3N4 纳米复合涂层具有最优的耐磨性能。 关 键 词: 高功率调制脉冲磁控溅射; TiAlSiN 纳米复合涂层; 微结构; 硬度; 磨损 中图分类号: TG174 文献标识码: A Microstructure Controlling and Properties of TiAlSiN Nanocomposite Coatings Deposited by Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering