以聚乙烯醇薄膜涂布于表面声波元件之湿度感测特性之 - 先进工程学刊.pdfVIP

先進工程學刊第一卷 第一期 45 Journal of Advanced Engineering Vol. 1, No. 1, pp. 45-48 / July 2006 以聚乙烯醇薄膜塗佈於表面聲波元件之濕度感測特性之研究 Humidity Sensing Characteristics of Polyvinyl-Alcohol Coated Surface Acoustic Wave Devices 1 *2 陳雲田 高慧玲 1 *2 Yun-Tien Chen , Hui-Ling Kao 摘要 ：本研究以聚乙烯醇薄膜塗佈於在表面聲波元件上，製作濕度感 線 (delay line)做為該濕度感測器之載具，因為使用表面 測器並研究其感測能力。我們量測表面聲波濕度感測器之相對濕度對 聲波共振器具有非常窄的頻寬、非常高的 QL值、非常 中心頻率和插入損失的影響，量測範圍從 30 至 90%的相對濕度。當 聚乙烯醇薄膜厚度在 3000Å ，我們獲得中心頻率差有1517 KHz 、插 低的雜訊及較尖銳的共振頻率可以降低感測器輸出信 入損失差有-10.31dB的變化範圍。另外，我們也研究該感測器之水氣 號上的誤差 [9] 。 吸收與去吸附的短期再現性與磁滯 (Hysteresis)性之影響。實驗結果顯 本文主要研究是以聚乙烯醇(polyvinyl-alcohol, 示聚乙烯醇薄膜具有一個良好濕度感測性質，能提供至表面聲波共振 PVA) 薄膜塗佈於表面聲波共振器之濕度感測特性。感測 器應用在較高的相對濕度環境之感測。 薄膜是使用一個親水性聚合物材料聚乙烯醇，它由 Abstract : Highly sensitive surface acoustic wave (SAW) humidity (-CH -CH-)單元組成，於每個單元再接上氫氧根 [10] 。 2 n sensors have been fabricated by spin-coating polyvinyl-alcohol (PVA) 4 5 thin film on the SAW resonators. The transmission properties of the 這聚合物具有較高分子量約 (10 -10 g/mol) 和一個約 SAW sensor, including center frequency and insertion loss will be 70oC玻璃轉換溫度。聚乙烯醇薄膜的厚度影響表面聲波 studied at a relativity humidity ranging from 30 to 90%. Frequency deviation of 1517 KHz and insertion loss deviation of –10.31 dB are 共振器之濕度感測性質也將被討論。 obtained when the PVA thin film thickness has be