第一章微系统设计与系统集成技术概论(1-1)_573505082.pdfVIP

微系统设计与系统集成技术 （2015年版，课件1-1） 清华大学精密仪器系 张高飞 Copyright(c) Tsinghua University Zhang Gaofei 任课教师  张高飞  工学博士/副研究员  主要研究方向 ：空间应用微系统、小卫星姿态敏感器与执行 器微型化技术、微能源技术  微系统设计方面的主要工作：  微型推进器技术（973、863、预研）  微型太阳敏感器技术（国防预研、863）  微型扫描镜（国防预研）  微型姿态确定组合模块（863）  复合微能源（973）  联系方式  zgf@tsinghua.edu.cn ；010，系馆2208房间 Copyright(c) Tsinghua University Zhang Gaofei 课程基本情况介绍（一）  性质 ：微系统设计与系统集成技术是一门 研究生专业选修学位课程。  内容：介绍和学习微系统设计与系统集成 技术中必需具备的专业性基础知识，包括 工艺、建模和封装等。  目的：帮助同学们入门并基本掌握微系统 设计与系统集成技术的基本知识和技能。 Copyright(c) Tsinghua University Zhang Gaofei 课程基本情况介绍（二）  学习方式  研究生与本科生的学习方式的区别？  由于本课程涉及的专业技术目前正处于飞速发展的 状态，课程采用讲授和讨论发言相结合的双轨式教 学模式进行。  一方面 ，通过讲授，帮助大家理解和消化课程内容。  另一方面 ，通过引入大家的调研、观察与见解，也可以保 证课程内容的不断更新，使得课程内容不断地跟随世界先 进技术水平变化而调整。  另外 ，获取和更新知识的技能本身也是研究生培养的重要 内容。 Copyright(c) Tsinghua University Zhang Gaofei 课程基本情况介绍（三）  本课程讲述的内容  微系统设计与系统集成技术概论 3学时  微系统设计技术基础 （材料和工艺）6学时  微系统设计建模策略 8学时  微系统的典型执行器功能设计 4学时  微系统的典型传感器功能设计 4学时  微系统的系统集成与封装基础 4学时  课堂讨论与机动 3学时  共 计： 32学时  上课时间： 每周五下午14:00~17:00，4学时/次 Copyright(c) Tsinghua University Zhang Gaofei 课程基本情况介绍（四）  主要参考文献  1、Stephen D.Senturia (Professor of MIT),Micro System Design, Kluwer Academic Publishers,Third Printing,2001.  中文译本：刘泽文等译，电子工业出版社，2004年11月， ISBN7-121