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N-3.3电容式传感器1

传感器内,电极的支架除要有一定的机械强度外还要有稳定的性能。因此选用温度系数小和几何尺寸长期稳定性好,并具有高绝缘电阻、低吸潮性和高表面电阻的材料。例如石英、云母、人造宝石及各种陶瓷等做支架。虽然这些材料较难加工,但性能远高于塑料、有机玻璃等。在温度不太高的环境下,聚四氟乙烯具有良好的绝缘性能,可以考虑选用。 尽量采用空气或云母等介电常数的温度系数近似为零的电介质(亦受湿度变化的影响)作为电容式传感器的电介质。若用某些液体如硅油、煤油等作为电介质,当环境温度、湿度变化时,它们的介电常数随之改变,产生误差。此误差虽可用后接的电子电路加以补偿,但无法完全消除。 在可能的情况下,传感器内尽量采用差动对称结构,这样可以通过某些类型的测量电路(如电桥)来减小温度等误差。 选用50kHz至几MHz作为电容传感器的电源频率,以降低对传感器绝缘部分的绝缘要求。传感器内所有的零件应先进行清洗、烘干后再装配。传感器要密封以防止水分侵入内部而引起电容值变化和绝缘性能下降。壳体的刚性要好,以免安装时变形。 适当减小极间距,使电极直径或边长与间距比增大,可减小边缘效应的影响,但易产生击穿并有可能限制测量范围。 电极应做得极薄使之与极间距相比很小,这样也可减小边缘电场的影响。 + - 图3-19 边缘效应 2.消除和减小边缘效应 等位环3与电极2同平面并将电极2包围,彼此电绝缘但等电位,使电极1和2之间的电场基本均匀,而发散的边缘电场发生在等位环3外周不影响传感器两极板间电场。 可在结构上增设等位环来消除边缘效应。 图3-20 带有等位环的平板式电容器传感器 等位环3 + - 电极1 电极2 边缘效应引起的非线性与变极距型电容式传感器原理上的非线性恰好相反,在一定程度上起了补偿作用。 寄生电容与传感器电容相并联,影响传感器灵敏度,而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度,必须消除和减小它。 3.消除和减小寄生电容的影响 (1)增加传感器原始电容值 (2)注意传感器的接地和屏蔽; (3)集成化 (4)采用“驱动电缆”(双层屏蔽等位传输)技术 (5)采用运算放大器法; (6)整体屏蔽法 (1)增加传感器原始电容值   采用减小极片或极筒间的间距(平板式间距为0.2~0.5mm,圆筒式间距为0.15mm),增加工作面积或工作长度来增加原始电容值,但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在 10-3~103 pF范围内,相对值变化在 10-6~1范围内。 (2)集成化   将传感器与测量电路本身或其前置级装在一个壳体内,省去传感器的电缆引线。这样,寄生电容大为减小而且易固定不变,使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。 将电容式传感器和所采用的转换电路、传输电缆等用同一个屏蔽壳屏蔽起来,正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。 (5)整体屏蔽法  C1和C2构成差动电容传感器,与平衡电阻Z1和Z2组成测量电桥,Cp1和Cp2为寄生电容 。 C1 C2 CP1 CP2 Z1 Z2 -A 交流电桥的整体屏蔽 屏蔽层接地点选择在两平衡电阻阻抗臂Z1和Z2中间,使电缆芯线与其屏蔽层之间的寄生电容Cp1和Cp2分别与Z1和Z2相并联。如果Z1和Z2比Cp1和Cp2的容抗小得多,则寄生电容Cp1和Cp2对电桥平衡状态的影响就很小。 最易满足上述要求的是变压器电桥。 变压器式交流电桥 Cr1 Cr2 USC U Z1 Z2 Z1和Z2是具有中心抽头并相互紧密耦合的两个电感线圈,流过Z1和Z2的电流大小基本相等但方向相反。因Z1和Z2在结构上完全对称,所以线圈中的合成磁通近于零, Z1和Z2仅为其绕组的铜电阻及漏感抗,它们都很小。结果寄生电容Cpl和Cp2对Z1和Z2的分路作用即可被削弱到很低的程度而不致影响交流电桥的平衡。 还可以再加一层屏蔽,所加外屏蔽层接地点则选在差动式电容传感器两电容C1和C2之间。这样进一步降低了外界电磁场的干扰,而内外屏蔽层之间的寄生电容等效作用在测量电路前置级,不影响电桥的平衡,因此在电缆线长达10m以上时仍能测出 1pF的电容。 (6)防止和减小外界干扰 当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时,仪器无法正常工作。此外,接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号,也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措施归纳为:??? 屏蔽和接地。传感器壳体、导线、传感器与测量电路前置级等。 增加原始电容量,降低容抗。 导线和导线之间

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