微透镜变化对半导体激光器光束匀化效果的影响.pdfVIP

第 25卷第 10期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo1．25，No．10 2013年 1O月 H1GH POW ER LASER AND PARTICLE BEAMS Oct．，2013 文章编号 ： 1001—4322(2013)10—2556—05 微透镜变化对半导体激光器光束匀化效果的影响 殷智勇 ， 汪岳峰 ， 尹韶云 ，杜春雷 ， 贾文武。， 王军阵 ， 白慧君 (1．军械工程学 院 电子与光学工程系 ，石家庄 050003； 2．中国科学院 重庆绿色智能技术研究院，微纳制造与系统集成中心 ，重庆 401122 3．中国华 阴兵器试验中心 ，陕西 华 阴 714200) 摘 要 ： 为 了实现高均匀性的半导体激光器泵浦光源 ，研究了成像型光束积分器 中微透镜 的变化对泵浦 光均匀性的影响。详细讨论了微透镜数值孔径与入射光束的角度匹配的问题。推导了高斯光束经成像型光束 积分器的光场分布模型，分析 了微透镜的边缘衍射对光斑均匀性的影响，明确 了微透镜孔径大小的取值范围， 并利用 ZEMAX进行 了系统仿真及实验验证 。结果表 明，经优化后 的成像型光束积分器实现 了不均匀性为 8．11 的矩形光斑。 关键词 ： 半导体激光器 ； 光束整形 ； 边缘衍射 ； 微透镜阵列； 成像型光束积分器 中图分类号 ： TN245 文献标志码 ： A doi：10．3788／HPLP2556 为了提高半导体激光器的输 出功率，通常在半导体激光器有源层厚度不变 的前提下使宽度增加 。因此受 到 自身结构的限制 ，半导体激光器快轴发散角度远大于慢轴发散角 ，输出光束呈椭圆型且极不均匀。所以在使 用之前 ，半导体激光器必须经过匀化处理_】]。而基于微透镜阵列的成像型光束积分器 ，已经成功代替了空心 导管、波导管 ，可以实现高度均匀的光斑[3。]。但如何在实际设计 中对微透镜参数进行选择 ，以减小微透镜对 目 标平面处光斑均匀性 的影响是本文重点解决的问题。 成像型光束匀化器是 由两列微透镜阵列和一个积分透镜组成Ⅲ5]。在两列微透镜中，前列任意一微透镜与 后列中对应位置的微透镜组成一个通道。在每一通道 中两微透镜的孔径、焦距完全相同，且通道的长度正好等 于微透镜的焦距。入射光束被通道分割成大量的细光束，第二列微透镜和积分透镜细光束在 目标平面上进行 叠加，实现了光斑的匀化 。为进一步分析影响光斑匀性 的因素 ，本文讨论 了入射光束发散角度对光斑均匀性影 响，确定 了微透镜的数值孔径选取范围。并从微透镜的孔径衍射和光束分割数量两个方面限定了微透镜孔径 的选择范围，从而降低微透镜对成像型积分器匀化性能的影响。 1 影响分析 1．1 孔径角对均匀性的影响 在成像型微透镜阵列光束 -峰一 1黜 一一2 一～3 ． 1ntegratorJens 积分器中，不同入射角入射的 平行光束被第一组微透镜阵列 分割为一系列细光束。当入射 角为 一01≤arctan(p／2f)时， 细光束将在微透镜子透镜对组 成的通道 内完成光束传输 ，如 图 1中箭头 1和箭 头 2所示 ， 其中P为微透镜 的孔径 ，厂为 Fig．1 Functionalschemeofimagingbeam integratorwithnon—collimatedbeam 焦距。根据公式 (1)可知 ，其 中 图1 非准直光入射成像型微透镜阵列光束积分器原理框图 S为 目标平面处 的光斑尺寸， F为积分透镜 的焦距 ，目标平面处的光斑尺寸s与入射角度无关 ，因此不同入射角度的光束仍然能够在积分透 镜后焦面完全重合 ，从而实现均匀化光斑的目的m 。 * 收稿 13期 ：2013—03—21； 修订 日期：2013-06—26 基金项 目：国家高技术发展计划项 目 作者简介 ：殷智勇(1984一)，男 ，博士 ，主要从事固体激光和激光光束整形技术的研究；yzy8465@163．com。 第 1O期 殷智勇等 ：微