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微通道板式WSZ位敏阳极探测器的图像拖尾处理
第 21卷 第 9期 光学 精密工程 VoL21 No.9
2013年 9月 OpticsandPrecisionEngineering Sep.2013
文章编号 1004—924X(2013)09—2439—06
微通道板式 WSZ位敏阳极探测器的
图像拖尾处理
王晓东 ,朱小明 ,吕宝林 ,鲍海明 ,刘文光 ,李 哲
(1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春 130033;
2.中国科学院大学,北京 10O039)
摘要 :分析 了极紫外成像仪 图像拖尾 的原因,提 出了消除该现象的方法 。:兮析 了坐标计算公式 中各个分量变化对图像 的
影响,结果显示 :信号叠加和微通道板(MCP)反馈是系统对坐标分量影响最大的两种 因素。通过对 图像数据的分析 ,排
除了信号叠加的两种情况即峰堆积和尾堆积产生拖尾 的可能性 。对拖尾最严重处 电荷变化量的计算表 明,MCP反馈是
产生拖尾的主要原因,而 MCP所加高压的幅度是产生反馈 的重要 因素之一。最后 ,用在2950V和2800V高压下采集
的图像验证 了拖尾是 由MCP反馈引发的,并通过实验给 出了解决方案 :通过烘烤减少 MCP通道 内的气体残 留并定期
对 MCP进行 电子束清刷来降低反馈发生 的几率 ,减小拖尾的影响。
关 键 词 :极紫外成像仪 ;图像拖尾 ;信号叠加 ;微通道板反馈
中图分类号 :TN23;TP391.4 文献标识码 :A doi:10.3788/OPE.2,3l32109.2439
ImagetailingprocessingofW SZ position sensitive
anodedetectorbasedonM CP
WANG Xiao—dong ,ZHU Xiao—ming’,LU Bao—lin ,BAOHai—ming,LIU Wen—guang ,LIZhe
(1.ChangchunInstituteofOptics,FineMe—chanicsandPhysics,
ChineseAcademyofSciences,Changchun130033,China;
2.UniversityofChineseAcademyofSciences,Beijing100039,China)
*Corr p0 ,zgauthor,E-mail:wangxd@ciomp.ac.cn
Abstract:TheimagetailinggeneratedbyanExtremeUltravioletimagerwasanalyzedandhow tore—
movetheimagetailingphenomenawasproposed.Theeffectsofeachcomponentchangeofcoordinate
calculationformulaon theimagewereanalyzed,and itshowsthatthesuperposed signalandM icro
ChannelPlates(MCP)feedbackarethemostinfluentialfactorsofcoordinatecomponentsinthesys—
tem .Afterimagedataanalysis,bothcasesofsuperpositionofsignal,peakaccumulationandtailaccu—
mulation,wereexcluded.Thecalculationonchangeofquantityofchargeatthemostserioustailing
placeshowsthattheMCP feedbackmaybethereason ofimagetailing.However,theamplitudeof
highvoltageapplyingontheM CP isoneoftheimportantfactorsa
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