任意形状图形的灰度掩模图的设计系统研究.PDFVIP

第 11 卷 第 2 期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vol. 11 No. 2 20 13 年 3 月 Nanotechnology and Precision Engineering Mar. 20 13 任意形状图形的灰度掩模图的设计系统研究 ， 1 2 2 1 杜立群 ， 冼 宗 明 ， 王大志 （1. 大连理工 大学精 密 与特种 加 工 教 育部 重 点 实验 室 ，大连 116024 ； 2. 大连理工 大学微 纳米 技术及 系统 辽 宁省 重 点 实验 室 ，大连 116024 ） 摘 要 ： 灰度掩 模技 术是 制作 三 维微 纳结构 的有 效 方 法之 一 ， 灰度掩 模 图设 计是 灰 度掩 模 技 术 的重要 组成部 分. 目 前 ，在 微 机 械 器件 制 作 领 域 中 ，通 常 只给 出常 用规 则 形 状 三 维结 构 对 应 的灰 度 掩 模 图的设 计 方 法 ，对 于任 意 形 状 图 形 的灰度掩 模 图设 计 鲜有报 道. 本 文综合 灰度 光 刻技 术 中的编码 原 理 和 有 限元 法 中的铺 路 法 ，提 出 了适合 于任 意形 状 图形 的灰 度掩 模 图设 计 算 法 ，解 决 了误 差 处理 和 图形 闭合 两个 关键 问题 ，给 出 了算 法及 图形 的评 价 方 法 ，并利 用 AutoCAD二 次开发 工具ObjectARX研 究 了算 法 的程 序 实现 ， 构 建 了灰 度掩 模 图的设 计 系统. 利 用该 系统设 计 了多幅 常规 规 则形状 和任 意形状 灰 度掩 模 图 ，结果表 明 ，该 系统 可 以 高效 地 设 计任 意 形 状 图形 的灰 度 掩 模 . 研 究 工作 为任 意形状 图形灰度掩 模 图的设 计提 供 了一种 新 方 法 ，可 以提 高灰 度掩 模 图的设 计 效 率 ，为三 维微 纳 器件 的制 作提 供 技 术积 累. 关键 词 ：灰 度 掩模 ；设 计 算 法 ；铺 路 法 ；任 意形 状 图形 ；ObjectARX 中图分 类 号 ： 文献标 志码 ： 文章编 号 ： （ ） TP311 A 1672鄄6030 20 13 02鄄0 152鄄07 Gray鄄Scale Mask Design System of Arbitrary Shaped Pattern ， 1 2 2 1 Du Liqun ， Xian Zongming ， Wang Dazhi （1． Key Laboratory for Precision and Non鄄Traditional Machining of Ministry of Education ， Dalian University of Technology ， Dalian 116024