光学式微奈米三维形貌量测之原理、技术与应用 - mipaper.pdf

Working on Better Solutions 光學式微奈米三維形貌量測 之 原理、技術與應用 主講人: 致茂電子 光學技術顧問 宋新岳 E-Mail ：aaron@.tw 日期 : 2013/01/03 Working on Better Solutions Principle 、Technology and Application for Three-Dimensionally Optical Metrology Speaker : Optical Consultant, Chroma ATE INC. Hsin-Yueh, Aaron, Sung E-Mail ：aaron@.tw Date : 2013/01/03 1 Outline • Introduction • Basic Principles for different 3D Optical Metrology • Mechanical Interferometry • Optical Interferometry • Applications of 3D Optical Metrology • Conclusions and Future Trends 2 W o r k i n g o n B e t t e r S o l u t i o n s Introduction 3 W o r k i n g o n B e t t e r S o l u t i o n s 2 三維形貌量測之用途 • 機械：外觀形狀、表面粗糙度 • 光學：曲率、形狀、表面粗糙度及刮傷 • 半導體：Wafer表面輪廓 • 封裝：BGA與Bump共面度 •電子：錫膏厚度 • 光通訊：光纖端面、DWDM Filter膜厚 • 生醫：DNA外觀形狀 4 W o r k i n g o n B e t t e r S o l u t i o n s 三維形貌量測之方式 • 接觸式，非接觸式 • 光學式 ，非光學式(機械式或其它) •點量測方式， 線與面量測方式 • 主動式 ，被動式 •破壞性檢測方式， 非破壞性檢測方式 5 W o r k i n g o n B e t t e r S o l u t i o n s