多成分电负性碰撞等离子体的鞘层玻姆判据 bohm criterion of the sheath in the multicomponent electronegative collisional plasma.pdfVIP

第3l卷第2期 核聚变与等离子体物理 、，01．31．No．2 2011年6月 NuclearFusionandPlasma June2011 Physics 文章编号：0254_6086c20l1)02-oll2-05 多成分电负性碰撞等离子体的鞘层玻姆判据 赵晓云1，段 萍2，屈 奎1 (1．阜阳师范学院物理与电子科学学院，阜阳236029；2．大连海事大学物理系，大连116026) 摘要：采用双流体模型研究了多成分的电负性碰撞等离子体鞘层的玻姆判据，讨论了一维稳态情形下不 同的带电粒子对鞘层玻姆判据的影响。采用拟牛顿法，得到了数值解。结果表明：玻姆判据存在上限和下限。二 次电子发射系数越大，离子的马赫数越大；负离子的含量越多，离子的马赫数越小。鞘层中离子的温度、离子与 中性粒子的碰撞以及离子的带电量对玻姆判据的上下限的取值都有一定的影响。 关键词：等离子体；鞘层；负离子；二次电子发射；玻姆判据 中圈分类号：0534 文献标识码：A 1 引言 献[14~2l】对电负性等离子体鞘层进行了研究，其中 鞘层的玻姆判据是用流体模型研究鞘层稳定 FmnI【lin【14】、wan一151、D啪【161等人研究显示负离子 性的重要判据，与等离子体鞘层边界条件有着直接 的含量越高以及负离子的温度越低，鞘层边界的玻 的联系。而鞘层的研究一直是等离子体应用中—个 重要的热点问题，所以鞘层边界的玻姆判据的研究 负性等离子体中离子的温度对鞘层的影响作了分 一直深受关注…¨。在等离子体材料表面改性、合 析，离子温度越高，鞘层中电子离子密度越大。 成薄膜以及等离子体刻蚀等应用中，通常会在置于 等离子体中需要加工工件的表面附近形成电负性 玻姆判据进行了研究，结果显示电负性碰撞等离子 等离子体【12·131。在这样的电负性等离子体中，一方 体的玻姆判据存在上下限。尽管上述文献对电负性 面高能电子撞击需要加工的工件表面产生大量的 等离子体的鞘层玻姆判据已经有了一定的研究，但 二次电子【l21，另一方面鞘层中离子与中性粒子发生 是其中对于离子和中性粒子的碰撞以及离子的温 一系列的碰撞【l31。这就在工件表面附近形成多成分 度等对鞘层玻姆判据上下限的影响的分析仍不够 电负性碰撞等离子体鞘层，多种带电粒子成分的出 系统，另外由于电负性等离子体鞘层中二次电子发 现使得鞘层的边界条件受到影响，从而直接影响着 射对电负性鞘层也有一定的影响【2¨。因此，为了利 鞘层的玻姆判据。 用流体模型更好地反映电负性等离子体鞘层结构 对于仅含有电子离子成分的等离子体鞘层的 特性，本文将针对—个考虑离子温度和碰撞的电负 玻姆判据，很多文献的讨论结果得出鞘边电场由玻 性的多成分等离子体鞘层模型进行研究。通过不同 姆判据决定，并且给出了离子进入鞘层时的速度必 因素对鞘层玻姆判据上下限的影响研究，为促进等 须不小于离子声速的这个玻姆判据的下限【I堋。文 离子体理论和实验的研究提供进一步参考。 收稿日期：2010-l㈣9；修订日期：20ll-02_25 研项目资助(2009FS日11) 作者简介：赵晓云(1977-)，男。安徽无为人。硕士，讲师。主要从事等离子体鞘层的研究。 万方数据 第2期 赵晓云等：多成分电负性碰撞等离子体的鞘层玻姆判据 113 2基本方程 厅砷+，lc0+刀—o29jc