基于MEMS器件的电解微细加工技术的研究.pdfVIP

2008年 11月 机床与液压 NOV．2008 第36卷 第 11期 MACHINETOOL HYDRAUUCS Vo1．36No．11 基于 MEMS器件的电解微细加工技术的研究 王 军 (广东轻工职业技术学院机电工程系，广东广州510300) 摘要：基于MEMS器件的微细加工技术，提出了在微电流密度下电化学钝化机理基础上 ，用高频振动效应消除钝化， 用与高频振动同频同步的窄脉冲电流电解作用去除机体材料 ，实现电解复合微细加工，这是微细加工技术的新构想及发展 趋势。 关键词：MEMS器件；高频振动；窄脉冲电流；电解复合微细加工 中图分类号：TG669 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2008)11—025—3 StudyontheM icroM achiningElectrolysisTechniqueforMEMSDevice WANGJun (DepartmentofMachineryandElectronicsEngineering，GuangdongIndustryTechnicalCollege， GuangzhouGuangdong510300，China) Abstract：AccordingtothemicromachiningelectrolysistechniqueforMEMSDevice，acompoundmicromachiningelectrolysis methodwasbroughtofrwardwhichuseshigh—freuq encyvibrationeffecttoeliminatepassivationbasedonthemechanism ofelectrochemi— calpassivationunderthemicrocurrentdensityandusesshortdurationcurrentelectrolysiseffectinphasewithhigh—freuq encyvibration toremovetheorganism materials．Theproposedmethodisanew ideaandthetrendindevelopmentofmicromachiningtechnique． Keywords：MEMSdevice；High-frequencyvibration；Shortdurationcurrent；Compoundmicro machiningelectrolysis O 引言 效率曲线的钝化区)进行，不能采用活性大但杂散 现代工业的发展，要求在有限空间内，产品具有 腐蚀严重的NaC1电解液，否则用单一电解方式加工 多种功能，因而对产品小型化、微型化的要求 日益迫 时，工件表面的钝化膜将难以破坏，电解作用不能持 切。在航空、航天、医疗生物工程、环境监测、微型 续进行，使得单一电解方式在微细加工中的应用受到 机器人、传感器等众多领域中，微小机械有广泛的应 限制。 用前景，计算机技术、微电子技术及航空航天等技术 采用高频脉冲电流有利于改善及稳定电解加工间 的进一步发展也只有通过微型化和集成化来实现。微 隙状态，可显著提高电解去除的定域性 ，从而提高加 机电系统 (MEMS)技术是产 品微型化的技术支撑， 工精度及表面质量。若同时将振动进给与脉冲电流相 基于MEMS器件的微细加工技术集合、交叉了多学 结合 (振动频率 10～100Hz)用于模具型腔的电解加 科的内容，是一个融前沿高技术和工程应用于一体的 工，由于振动冲刷作用及脉冲的间歇加工，加工过程 科学技术体系，受到国内外广泛重视 ，发展非常迅