双纵模激光拍频干涉仪的研究.pdf

第 32 卷 　第 1 期 中　 国 　激 　光 Vol . 32 , No . 1 　 2005 年 1 月 C H IN ESE J OU RN AL O F L A SER S J anuary , 2005 　 　　文章编号 :(2005) 0 10 10 104 双纵模激光拍频干涉仪的研究 周肇飞 , 张 　涛 , 朱 目成 , 尹伯彪 ( 四川大学激光应用技术研究所 , 四川 成都 6 10065) ( - 7 ) 摘要 　介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的系统 。以有高稳定性和强抗干扰能力 室外可达 10 μ 的双纵模热稳频 HeNe 激光器为光源 ,其拍频约为 790 M Hz ,拍频波长约 376 m ; 以节点为对准标志 ,最邻近节点 μ 到被测点的间距用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量 ,分辨率为 008 m 。采用 自适应滤波和小波运算 μ 大幅度地降低了光电信号噪声 ,并强化波形 。测试表明 ,测量的不确定度优于 30 m/ 10 m ,整个测量系统可在 0～ 20 m 范围内工作 。 关键词 　仪器 ;大尺寸测量 ;双纵模激光 ;激光拍频干涉仪 中图分类号 　T H 744 . 3 　　　文献标识码 　A Research on the Laser BeatWave Interf erometry Z HOU Zhaof ei , Z HAN G Tao , Z HU Mucheng , YIN Bobiao ( ) I ns ti t ute of A p p l ie d L ase r , S ichuan Uni ve rs i ty , Cheng d u , S ich uan 6 10065 , Chi na Abstract 　A p reci sion measuring syst em for lar ge size mea surement i s described . The frequencyst abilized HeNe laser wit h t hermoregulation i s u sed as t he light source , which op erat es on t he double longit udinal mo des , ha s high frequency st abilit y and good antidi st urbance p erformance . The f requency st abilit y i s bett er t han 10 -