多线切割机控制体系设计与概述.docVIP

　　多线切割机控制体系设计与概述 第一章 绪论 1.1课题背景和研究意义 硅片是光伏领域和半导体的主要生产材料，近年来，随着光伏产业和集成电路的高速发展，对作为衬底的硅单晶片的要求越来越高[1]，这主要表现在两个方面，一是硅单晶片的尺寸越来越大，大尺寸的硅片生产已经形成了规模，二是对硅片表面质量如机械损伤层、品格的完整性要求也变的越来越高，显然，这些要求对传统的切割工艺是一种挑战。为了满足行业需求和提高生产效率，对硅片切割工艺的研究就变的尤为关键。多线切割是集成电路、光伏发电、电子元器件等产业中硅片加工的新型工艺，并已成为主流的切割技术，可以大幅度的提高产能和切片的质量。多线切割机有生产率高、出片率高等特点，因此其取代了传统的外圆、内圆切割机，成为目前硅片加工生产的主要方式[2]。多线切割机具有如下特点：效率高、制造能力强、硅晶体损耗小、噪音小、加工工艺可调。长期以来，垄断了精密高效的多线切割机核心技术的国家主要包括：日本、德国和瑞士等[3]，而国内的多线切割机往往因达不到技术要求而无法生产出高质量的硅片，这使得我国集成电路制造、光伏等产业发展缓慢。为了提高集成电路产业发展，近年来我国从国外进口精密数控多线切割设备近千台，国内对数控多线切割设备的需求增长速度很快，达到了 25%每年[4]。为了打破国外对多线切割领域核心技术的垄断，促进我国光伏和集成电路制造等产业的发展，国家设立了各种关于多线切割机开发的子课题。因此，自主开发一套满足硅单晶片生产市场需求的高精度多线切割机迫在眉睫，这不仅仅是广大民营企业的迫切需要，而且是提高整个民族 IT 和光伏行业竞争力的必由之路，它有利于加快行业发展，提升国产产品的市场竞争力，降低成本，从而使得我国光电信息产业得到良好发展。 . 1.2多线切割机控制系统的工作原理 多线切割技术是当前世界上比较先进的主流加工技术,其工作原理是通过多根钢丝的同时高速往复运动,将磨料带入到加工区域对待加工物体进行研磨,将待加工物体一次同时切割为几百片甚至几千片薄片的一种新型的加工方法[6]。在切割进行中,钢线经过导向轮的引导和换向,在加工辊上形成一张运动的线网,待加工物体低速通过线网后,即可被切割成片件。多线切割技术与传统的切割技术相比具有产量大、效率高、精度高等优点,目前已被广泛应用于晶体硅、水晶、石英、陶瓷、磁性材料、人造蓝宝石等硬脆材料的切割加工。多线切割机一般由放线辊、收线辊(电机带动)、导轮、加工辊、工作台等构成。如图1.2.1所示为某多线切割机的切割原理图。多线切割机的基本切割原理是通过特制的钢丝线的高速往返运动来切割被加工材料，在切割过程中会加入砂浆，砂浆主要是由聚乙二醇和碳化硅微粉按照一定的比例混合而成[7]。钢丝的表面一般会镀铜，这样可以使得钢丝表面与磨料间有较好的粘附性[8]。多线切割机的结构是这样的，钢线均匀的缠在放线辊上，由伺服电机驱动放线辊运动从而实现放线，放出的钢线在多个导轮的承载和导向下缠绕在加工辊外表面，缠绕数百圈，从而形成一张线网，加工辊由一台大功率伺服电机驱动，由加工辊引出之后又经过多个导轮的导向和承载进入收线辊，均匀的缠绕在收线辊上，收线辊同样由伺服电机驱动。 . 第二章 多线切割机控制系统关键技术研究 2.1 多线切割机张力控制模块设计研究 在多线切割机工作过程中,钢丝上的张力变化会导致加工辊上相互平行的切割线各自张力不一致,这样会致使切片整版厚度差异明显，加工辊上的切割槽中某根钢线的张力随着时间的变化,会影响相邻切片间的中心厚度差和翘曲度等单片性能指标[25]。另外,钢线在高速往复循环时实现切割,在工作过程中,如果对张力的控制不当,则容易造成钢丝的断线,断线后不仅浪费大量工时，并导致昂贵的被切割体报废,造成经济损失。因此，为保证多线切割机的生产效率、产品精度,就应使张力控制得到良好改善,它是多线切割机技术难点和重点。典型的张力控制系统是由控制器，张力检测装置（张力传感器）和执行机构组成。其中，控制器是系统的核心部件，控制系统运行过程中，张力检测装置实时的检测张力的大小，并将数据传输给控制器，控制器对数据进行处理，得出系统的输出由执行机构来执行，从而改变张力的大小。多线切割机的张力控制系统组成部分亦如此，虽然控制系统的原理相似，但不同的张力控制机构带来的效果却截然不同，目前国产的多线切割机多数通过在钢线上施加重锤的方式（或类似的方式）来实现张力控制[26]，下面是对这种张力控制方式的分析。 2.2 多线切割机的多电机同步控制研究 电子轴传动亦称无轴传动，现在已成为技术的主流，大有代替传统机械轴传动、齿轮连杆传动的趋势[28]。无轴传动的特点是每个传动点都有独立的驱动电机，用电子齿轮和电子凸轮技术驱动相应机械，用基于软件实现的虚拟电子长轴取代机械长轴作为主导轴。控制器通过位置