金属和非金属元素等离子共渗工艺.DOC

专利信息 申请号：申请日： 2001/09/28 公开日： 2002/05/01 公告日： 2004/09/15 公开号： 1346902 公告号： 1166808 授权日： 2004-9-15 授权公告日： 2004-9-15 专利类别： 发明 国别省市代码： 14[中国|山西] 代理机构代码： 14101 代理人： 庞建英 申请人地址： 山西省太原市迎泽西大街79号 邮编： 030024 范畴分类号： 23D25F 名称： 金属和非金属元素等离子共渗工艺 国际分类号： C23C 12/02 申请人： 太原理工大学 发明人： 高原;徐重 文摘： 金属和非金属元素的等离子共渗工艺，属于表面冶金的范畴，主要解决金属和非金属元素等离子共渗的表面合金化问题。其特征在于：利用双层辉光离子渗金属技术，在通入惰性气体的同时通入带有非金属元素的反应性气体，使反应性气体中的元素参与离子溅射、电离和渗入过程，在源极中的金属元素渗入被渗金属材料的同时，反应性气体中的非金属元素也同时渗入被渗金属材料表面，从而实现一次形成金属非金属元素共渗的表面合金层。 主权利要求： 一种金属和非金属元素的离子共渗工艺其特征在于：利用双层辉光离子渗金属技术，在通入惰性气体氩气或氮气的同时通入反应性气体，使反应性气体中的元素参与离子溅射、电离和渗入过程，在源极中的金属元素渗入被渗金属材料的同时，反应性气体中的元素也同时渗入被渗金属材料表面，使被渗的金属材料一次形成具有既含有源极中欲渗的合金元素，又有反应性气体中的元素的表面合金层，根据工艺需要在形成表面合金层后，提高工艺温度或降低工艺温度，进行快速冷却，达到淬火的目的，其具体工艺过程为：采用一个可以抽真空 并能充入惰性气体和反应性气体以形成一定气体压力的并且设置一个由欲渗金属或合金元素组成的源极、放置被渗金属材料的阴极、阳极接在炉体上，在阳极与阴极，阳极与源极之间各设置有０～１５００Ｖ的可调直流电源或脉冲直流电源，沿炉壳内层设置具有辅助加热源极和阴极功能的电阻加热的热源的密封容器，抽真空达１×１０↑［－１］Ｐａ后，同时通入隋性气体如氩气或氮气和反应性气体，碳氢化合物气体：甲烷、乙烷、丙烷、丙酮挥发气；含氮气体：氨气；含硼气体：乙硼烷；金属卤化物气体：四氯化钛，其工作气压在１０Ｐａ～１３３３Ｐａ的范围，加入直流电压或脉冲直流电压，产生辉光放电的真空容器中的阴极与阳极之间的电压在－３００Ｖ～－７００Ｖ范围，源极与阳极的电压在－８００Ｖ～－１２００Ｖ范围，随着离子轰击的溅射作用将源极中的合金元素以离子、原子或粒子团的形式溅射出来，同时通入的反应性气体不仅参与溅射，而且在电场的作用下被电离，产生活性的离子、原子和粒子团，这些活性离子，原子和粒子团随同从源极中溅射出的金属离子、原子或粒子团共同吸附于外加辅助热源及阴极离子轰击，处于高温状态的被渗金属材料表面，使吸附于表面的活性物质扩散进入内部，形成表面合金层，而后根据需要，实施快速冷却，进行淬火工艺。 优先权项： PCT 项 进入国家阶段日： 国际申请号： 国际申请日： 国际公布日： 国际公布号： 国际公布语言： 法律状态： 2006-4-12;因费用终止公告日