分等级ZnO超长微米线的制备及自供电传感特性.pdfVIP

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2017-07-28 发布于北京
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分等级ZnO超长微米线的制备及自供电传感特性.pdf

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第34卷第5期电子元件与材料、厂01．34No．5 2015年5月 ELECTRoNICCo^佃oNENTSANDⅣ“帆RL^LS May2015 分等级ZnO超长微米线的制备及自供电传感特性陈晓冬，王丁，王现英 (上海理工大学材料科学与工程学院，上海200093) 摘要：由于材料尺度的限制，微纳器件的制作工艺一般较为复杂。以ZnO，Sn02和石墨粉为原料，采用化学气相沉积(CVD)法成功制备出长度达厘米级别的分等级结构ZnO微米线，分剐通过立体显微镜、场发射扫描电子显微镜伊E．SEM)和x射线粉末衍射仪(Ⅺ①)对样品的形貌和结构进行表征。结果表明所制备的材料其一级结构为ZnO 微米线，二级机构为四周均匀生长的ZnO微米短棒。设计制作出一种基于单根ZnO微米线的自供电传感器，并以乙醇为目标检测物进行敏感性能测试。结果表明：在不加外部电源的情况下，接触乙醇液体可以得到0．15V的输出电压或25nA的输出电流。关键词：超长微米线；分等级结构ZnO；化学气相沉积法；自供电传感器；输出电流；输出电压 doi：10．14106／j．enki．1001—2028．2015．05．008 文献标识码：A 文章编号：1001-2028(2015)05．0027．04 中图分类号：TN304：TQl33．5+1 of hierarchicalZnOmicrowiresfor Preparationultralong ●一 o SenSorS SeU—powerea CHEN Xiaodong，WANGDing，WANGXianying ofMaterialsScienceand for (School Engineering，UniversityofShanghai device tothe Abstract：Thefabricationofmicro／nanoisgenerally due restrictionofmaterialsscale． process complex were with hierarchicalZnOmierowires chemical preparedby deposition(cvo)methodZnO， Ultralong successfully vapor microwireswere and aSrawmaterials．The andstructureofthe ZnO Sn02 graphitepowders morphology ultralong characterizedstereo emission electron diffraction scanning by microscope，f