具导电性之氮化钛氮化矽复合材料的加工与特性研究.PDFVIP

具導電性之氮化鈦-氮化矽複合材料的加工與特性研究 Manufacture and Properties of Electro-Conductive TiN- Si N 3 4 Particulate Composites 計劃編號 ：NSC-89-2216-E-006-034 執行期限 ：88 年08 月01 日至89 年07 月31 日 主持人 ：黃肇瑞國立成功大學材料科學及工程學系 本文研究於 Si N 起始粉末中添加 瓷與其他結構陶瓷材料類似 ，破壞韌性無 3 4 TiN 作為第二相，氮化鈦含量在10 到40% 法較大提昇 ，使得陶瓷的應用受到侷限， 的體積比，於氮氣氛中1850℃溫度作熱壓 因此 ；如何提昇氮化矽結構陶瓷的韌性， 燒結 ，而第二相TiN 的含量及粒度大小會 遂受到大家的關注與投入研究。 影響微結構的變化 、機械性質、電阻率及 一般提昇韌性方法 ，可藉由陶瓷材料 放電加工性能。當TiN 含量在20vol%有較 內部結構的相變或添加第二相 ；如鬚晶 佳的破壞韌性值，而含量在40vol%其電阻 (whisker) 、纖維(fiber) 、板狀(platelets)晶粒 率為 3×10-3 Ω.㎝時 ，適合做放電加工切 及顆粒(particles)狀晶粒等 ，成為一複合 削 ，由微放電加工切削結果，證實具導電 體 ，兼具各種優良性質的陶瓷基複合材料 性 TiN/Si N 陶瓷複合材料可加工具有高 (Ceramic Matrix Composite 簡 稱 3 4 深寬比的微細孔徑 。 CMC) ，以提昇韌性[2-5] 。然而這些陶瓷 關鍵詞 ：氮化矽，放電加工，破壞韌性 複合材料硬度極高 ，實際應用時，必須使 The feasibility of machining TiN- 用傳統鑽石砂輪切削 ，製成零件成本極為 reinforced Si N components by a micro - 昂貴且不方便 ，故限制了結構陶瓷的應用 3 4 EDM method was explored in this study. 範圍 ，陶瓷材料加工時能夠使用簡便放電 The microstructure, strength, fracture 加工(electrical discharge machining, 簡稱 toughness and electrical resistivity of Si N EDM)技術 ，除了減低加工成本，更容易 3 4 containing two different sizes of TiN were 製造加工成複雜形狀 ，是很吸引人的製 investigated. A low electrical resistivity of 程 ，但放電加工先決條件是陶瓷材料必須 -3 1.25×10 Ω.㎝ was obtained in 40vol% 具有導電性 。 TiN/Si N composites. Micropores of 700 μ 本文研究是添加兩種不同平均粒度 3 4 m in depth and 70 μm in diameter were 3.5 μm 和 8 μm 及比例的氮化鈦(TiN)顆 successfully machined in TiN/ Si N 粒於氮化矽基材上 ，在氮氣中進行燒結， 3 4 composites by