环境扫描电子显微镜的成像特点.pdf

环境扫描电子显微镜的成像特点 郑春明，周巧琴，蔡传荣 (福州大学中心实验室，福建 福州 350002) 摘 要 环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760Torr)，与传统扫描 电子显微镜(SEM)样品室高真空库相比，ESEM 样品室的真空度可以很低(约达 20 Torr)。ESEM 是在传统的 SEM 样品室中多一个GSED 探头，因此，它在传统的SEM 基础上增添了新的功能。其主要的特点是，可以观 察合适量水分的样品和非导体材料样品，比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒、含结晶水的固体 材料等。 关键词 环境扫描电镜；气体二次电子探头 Characteristic of imaging in environmental scanning elecrron microscope Zheng Chunming , Zhou Qiaoqin , Cai Chuanrong (Cencse Ltioratorp,Fuzhou University, Fuzhou. Fujian ,350002) Abstract： The environment of environmental scanning electron microscope does not really mean the atmosphere . Compared with conventional scanning electron microscope ,the vacuum in ESEM chamber is rather low (about 20 Torr). There is a gaseous secondary electron detector (GSED) in the che chamber in ESEM ‘ which offers new functions .Therefor ,it can be used to observe the moisture bearing specimens and the insulation specimens .such as leaves , insects grains and moisture-beating solids . Key words：Environmental soanning electron microscope ; Gaseous secondary eletron detector 传统扫描电子显微镜(SEM)配有接收二次电子的探头(ET)，它的工作原理：ET 探头通过 接收样品的二次电子，经光电倍增管放大后，信号再输到前置放大器放大。最后去调制显象 管或其它成象系统(见图1)；但它 图1 只能在高真空下工作，因此只光电倍增管图1 能观察不含水分的固体导电样品相通过脱 水、喷金属化等处理后的生物样品。对于含有适量水分的新鲜生物等样品，传统扫描电镜就 无法满足要求。因此，人们渴望既能在高真空下又能在低真空下甚至能在大气环境下工作的 扫描电子显微镜。二十世纪八十年代，随着真空系统中多重限压狭缝技术开发成功(即将样 品室与柱形导管之间的真空隔开)和气体二次电子探头的研究成功。美国E1ectro Scan 公司 于1990 年推出第一台商用环境电子显微镜(ESEM)。环境扫描电子显微镜的诞生，把人们引 入了一个全新的形态观察的领域。 2 环境扫描电镜的工作原理和特点 2．1 工作原理 环境扫描电镜有二个探头(ET和GSED)，分别在高真空和低真空下工作。因此，它除了 保持传统扫描电镜功能外。由于增加了GSED 探头，就增加了新的功能。GSED 可以工作在低 真空(约达 20Torr)下，它安装在物镜极靴底部，探头上施以数百伏的正电压以吸引由样品 激发出的二次电子，二次电子在探头电场中被加速并碰撞气体分子使其电离，部分气体电离 成正离子和电子(这些电子被称为气体二次电子)，这种加速一电离过程的不断重复，使初始 二次电子信号呈连续比例级数放大，GSED 探头接收这些信号并将其直接传到电子放大器放 大成电信号去调制显象管或其它成像系统(见图2)