紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究 - 北京玛格泰克科技 .pdf

: 狄建科 等 紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究 ９７３ 紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究∗ ,, , , , , １２３ １２ ３ １２ １２ １２ , , , , , 狄建科 周 明 赵裕兴 王星罡 李 健 张 伟 　 　 　 ( , ; １．江苏省光子制造科学技术中心重点实验室 江苏 镇江 ２１２０１３ , ; , ) ２．江苏大学 材料科学与工程学院 江苏 镇江 ２１２０１３ ３．苏州德龙激光有限公司 江苏 苏州 ２１５０２１ : 、 、 , 摘 要 采用紫外激光对触摸屏产品中不可视区域进 且激光具有非接触 无污染环境 易控制等特性 使其 　 　 , , , 行刻蚀分析 探究了紫外激光刻蚀原理 讨论了银浆薄 成为当代银浆线刻蚀宽控制的重要应用热点 并且逐 [ ] ２Ｇ５ , . 膜激光刻蚀与传统印刷工艺异同点 并在此基础上完成 渐在工业中得到越来越广泛的应用 本文用紫外 . , 一套紫外激光刻蚀系统方案的设计和建造 实验结果 固体激光器蚀刻银浆可以达到较稳定的线宽 使银浆 , , , 表明 选用波长为３５５nm的紫外激光器 当激光器功率 的线宽最细可以达到１０m 可以使未来触摸屏不可视 μ , , /, , , 为１０W 重复频率１００kHz刻蚀速度为１５００mm s刻蚀 区域更小 生产时可以方便地更换蚀刻图形 无废弃物 , , , , . 次数 次时 薄膜被完全刻蚀 最终获得功能良好的银 产生 可大量节省研发成本 缩短产品开发周期 １ . , 浆线路 经测试后发现 所刻蚀后银浆线条平直而光 ２　实验原理及方法 , , 滑 边缘热影响 区域较小 最小刻蚀线宽可