レーザー变位计-京都大学.PPT

望遠鏡技術検討会副鏡計測の要素実験報告 2012年6月6日 京都大学宇宙物理学科修士二年　出口和弘 副鏡検査方法案 研削盤にレーザー変位計を取り付け、表面走査で計測する方法を考案中。 今回：レーザー変位計の性能試験をした結果を報告 レーザー変位計 使用予定の変位計と要求仕様 キーエンスLT9010 分解能 10nm 温度ドリフトあり 要求 　-傾斜面でも十分な分解能(～10nm) 　-計測時間中(～6時間) 安定 傾斜がある場合の分解能確認実験 クリアセラム(1200番での研削面)を傾けた状態で計測 傾斜があると分解能が悪化するかどうか確認 8°傾斜での実験結果 傾斜があった場合の分解能変化を確認 9.7nm(RMS)で安定　傾斜なしと同程度 計測距離(um) 計測時間(sec) 温度特性確認実験 ?気温=23±0.1℃ ?クリアセラム上　　 　に配置 ?クリアセラムの 　蒸着面を計測 変位計出力値と変位計温度の相関を見た 変位計出力値と温度の相関 温度特性　1400nm/℃　長期ドリフトの原因 計測距離(um) 変位計温度(℃) ＊温度計精度 0.1℃ 変位計試験まとめ 実験内容 結果 分解能 8°傾斜でも十分な分解能を得られた ○ 温度特性 1400nm/℃の線形温度特性 △ 変位計の温度補償により精度向上を狙う ～具体案(検討中) 変位計に金属ブロックを取り付け熱容量を増やす 熱電対温度計によってフィードバックをかける 今後 距離センサ試験の報告 コイルから導体までの距離に反応するセンサ 導体なし(L一定)で試験 　　浮遊容量Cを調べた 温度特性あり 　仕様と逆の温度特性 　再現性試験は失敗 導体 カウントと温度の相関 カウント基準 37832 ΔT 2.5℃ Δcount 23count 仕様と逆の相関 29.0℃ 26.0℃ 1.0001 0.9993 ２時間 恒温槽の問題点 29℃→26℃→29℃で運転命令 元の温度に戻らない(±0.2℃) 29.0℃ 26.0℃ センサ実験まとめ 導体なしで実験　Cのみの影響を調査 温度相関は逆センス 恒温槽の再現性が0.2℃ほどずれる 　　　　再現性実験に工夫が必要　　 センサカウントと温度(導体あり) セ ン サ カ ウ ン ト 緑：温度変化前 青：温度変化後 カウント平均 　～50792 20.0℃ 15.0℃ 温度 -3.6count/℃ カウントと温度の相関(今回の結果) 温度変化中のデータは省いた 29.0℃ 26.0℃ 温度 センサカウント LCではなく Cのみの影響 カウントと温度の相関(過去データ) カウント変化量　6.5count/℃　(カウント平均37800) ＊センサボックスを恒温槽の中に入れている 23.5℃ 27.0℃ 5カウント センサの安定性 同一環境でも安定性に差異 センサの選別が必要 5時間での安定性0.22count(RMS) 　1count=15nmとして 　3.3nm カウント平均58686 LT9000 * *