不同类型蒸发源对平面夹具薄膜均匀性的影响3.pdfVIP

　第 17卷 　第 10 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vo l. 17 ,No. 10　 　2005年 10 月 H IGH POW ER LA SER AND PAR T ICL E B EAM S O ct. , 2005　 文章编号 : (2005) 不同类型蒸发源对平面夹具薄膜均匀性的影响 董 　磊 , 　赵元安, 　易　葵 , 　邵建达 , 　范正修 ( 中国科学院 上海光学精密机械研究所, 上海 20 1800) 　　摘 　要 : 　分析了几种可能的实际蒸发源与薄膜均匀性的关系 ,其中包括扩展的平面蒸发源和曲面蒸发 源 。通过实验论证了薄膜均匀性对蒸发源尺寸和蒸发特性的依赖关系 。得到的分析结果表明: 当蒸发源半径 和夹具高度的比值小于